Ko te hangarau waipara katote i awhina i te kurupae katote me te hangarau whakakikorua waipara katote me te hangarau tukatuka hiato mata katote. I roto i te tukanga o te whakarerekētanga mata o ngā rauemi katote werohia, ahakoa rauemi semiconductor rauemi engineering ranei, Kei te maha hiahia te reira e te matotoru o te paparanga whakarerekētia he nui nui atu i taua o te implantation katote, engari e hiahia ana hoki ki te pupuri i nga painga o te tukanga werohanga katote, pērā i te paparanga whakarerekētia me te tïpako i waenganui i te atanga koi, ka taea te tukatuka i te workpiece pāmahana rūma, me te pera i runga i. Na reira, ma te whakakotahi i te whakaurunga katote me te hangarau whakakikorua, ka werohia nga katote me tetahi kaha ki roto i te atanga i waenga i te kiriata me te tïpako i te wa e whakakikoruatia ana, ka konatunatua nga ngota atanga ki te awhina o nga tukinga cascade, ka hangaia he rohe whakawhiti ngota e tata ana ki te atanga tuatahi hei whakapai ake i te kaha hononga i waenga i te kiriata me te taputapu. Na, i runga i te rohe whakaranu ngota, ko te kiriata me te matotoru e hiahiatia ana me nga taonga kei te tipu haere tonu me te whakauru o te kurupae katote.
Ka kiia tenei ko te Ion Beam Assisted Deposition (IBED), e pupuri ana i nga ahuatanga o te tukanga whakauru katote i te wa e tuku ana te taputapu ki te whakakikoruatia ki te papanga kiriata angiangi e tino rereke ana i te taputapu.
Ko nga painga e whai ake nei ko te tukunga awhina kurupae katote.
(1) I te mea ka puta te waipara katote i te awhina o te kurupae katote ki te kore he rere hau, ka taea te whakakikorua ki te pehanga <10-2 Pa, ka whakaiti i te poke hau.
(2) Ko nga tawhā tukanga taketake (te kaha katote, kiato katote) he hiko. Ko te tikanga kaore e hiahia ki te whakahaere i te rere o te hau me etahi atu tawhā kore-hiko, ka taea e koe te whakahaere i te tipu o te paparanga kiriata, te whakatika i te hanganga me te hanganga o te kiriata, ngawari ki te whakarite i te whakahou o te tukanga.
(3) Ka taea te whakakikorua i te mata o te mea mahi ki te kiriata e tino rerekee ana i te taputapu, me te matotoru kaore i te whakaitihia e te kaha o nga katote pupuhi i te iti o te pāmahana (<200 ℃). He pai mo te maimoatanga o te mata o nga kiriata mahi doped, nga miihini miihini miihini makariri me te iti o te wera o te rino hanganga.
(4) He tukanga taurite-kore e whakahaerehia ana i te pāmahana rūma. Ko nga kiriata mahi hou penei i nga waahanga teitei-nui, nga waahanga whakaheke, nga koranu amorphous, me etahi atu ka taea te tiki i te pāmahana rūma.
Ko nga ngoikoretanga o te waipara katote kurupae awhina ko.
(1) Na te mea he tika nga ahuatanga o te kurupae katote, he uaua ki te pa ki te ahua mata o te mea mahi
(2) He uaua ki te mahi ki nga taputapu mahi nui-nui me te waahi nui na te iti o te rahi o te awa kurupae katote.
(3) Ko te nuinga o te 1nm/s te tere o te whakaheke i te kurupae katote, he pai mo te whakarite i nga paparanga kiriata angiangi, kaore e pai mo te whakakikorua o nga hua nui.
– Ko tenei tuhinga i tukuna ekaihanga miihini whakakikorua korehauGuangdong Zhenhua
Wā tuku: Nov-16-2023