Vakuuma plazmas tīrīšanas iekārta ir aprīkota ar integrētu struktūru, RF jonu tīrīšanas sistēmu, pilnībā automātisku vadību, ērtu darbību un apkopi.
RF augstfrekvences ģenerators var ģenerēt augsta blīvuma plazmu, aktivizēt, kodināt un pārpelnot sagataves virsmu, efektīvi noņemt putekļus un taukus no izstrādājuma virsmas, atbrīvot virsmas spriegumu un iegūt dažādas modifikācijas sagataves virsmā.
Tas ir piemērojams gumijas, stikla, keramikas, metāla un citiem izstrādājumiem, un to izmanto mikroelektronikā, LCD, LED, LCM, PCB shēmas plates, pusvadītāju iepakojumā, medicīnas ierīcēs, dzīvības zinātnes eksperimentos un citās jomās.