PRODUKTA APRAKSTS

Aprīkojuma priekšrocība

1. Dziļo caurumu pārklājuma optimizācija

Ekskluzīva dziļo caurumu pārklāšanas tehnoloģija: Zhenhua Vacuum izstrādātā dziļo caurumu pārklāšanas tehnoloģija var sasniegt izcilu malu attiecību 10:1 pat tik mazām atverēm kā 30 mikrometri, pārvarot sarežģītu dziļo caurumu struktūru pārklāšanas izaicinājumus.

2. Pielāgojams, atbalsta dažādus izmērus

Atbalsta dažādu izmēru stikla substrātus, tostarp 600 × 600 mm / 510 × 515 mm vai lielākas specifikācijas.

3. Procesa elastība, savietojamība ar vairākiem materiāliem

Iekārta ir saderīga ar vadošiem vai funkcionāliem plānslāņu materiāliem, piemēram, Cu, Ti, W, Ni un Pt, apmierinot dažādas lietojumprogrammu prasības attiecībā uz vadītspēju un izturību pret koroziju.

4. Stabila aprīkojuma veiktspēja, vienkārša apkope

Iekārta ir aprīkota ar inteliģentu vadības sistēmu, kas nodrošina automātisku parametru regulēšanu un plēves biezuma vienmērīguma uzraudzību reāllaikā; tai ir modulāra konstrukcija, kas atvieglo apkopi un samazina dīkstāves laiku.

Pielietojums:Var izmantot TGV/TSV/TMV uzlabotam iepakojumam, kas spēj panākt dziļu caurumu sēklas slāņa pārklājumu ar malu attiecību ≥10:1.