PRODUKTO APRAŠYMAS

Įrangos pranašumas

1. Giliųjų skylių dangos optimizavimas

Išskirtinė gilių skylių dengimo technologija: „Zhenhua Vacuum“ sukurta gilių skylių dengimo technologija gali pasiekti puikų 10:1 kraštinių santykį net ir esant mažoms, vos 30 mikrometrų, angoms, taip įveikiant sudėtingų gilių skylių struktūrų dengimo iššūkius.

2. Pritaikomas, palaiko skirtingus dydžius

Palaiko įvairių dydžių stiklo pagrindus, įskaitant 600 × 600 mm / 510 × 515 mm ar didesnius.

3. Proceso lankstumas, suderinamas su įvairiomis medžiagomis

Įranga suderinama su laidžiomis arba funkcinėmis plonasluoksnėmis medžiagomis, tokiomis kaip Cu, Ti, W, Ni ir Pt, todėl atitinka skirtingus laidumo ir atsparumo korozijai poreikius.

4. Stabilus įrangos veikimas, lengva priežiūra

Įranga aprūpinta išmaniąja valdymo sistema, kuri leidžia automatiškai reguliuoti parametrus ir realiuoju laiku stebėti plėvelės storio vienodumą; ji yra modulinės konstrukcijos, kad būtų lengva prižiūrėti ir sumažinti prastovas.

Taikymas:Gali būti naudojamas pažangioms TGV/TSV/TMV pakuotėms, galinčioms pasiekti giliųjų skylių sėklų sluoksnio dangą, kurios kraštinių santykis ≥10:1.