Virdeel vun der Ausrüstung
1. Optimiséierung vun der Déiflächerbeschichtung
Exklusiv Déiflächerbeschichtungstechnologie: Déi selwer entwéckelt Déiflächerbeschichtungstechnologie vu Zhenhua Vacuum kann en iwwerleeënt Aspektverhältnis vun 10:1 erreechen, och fir kleng Aperturen vun nëmmen 30 Mikrometer, wouduerch d'Beschichtungsproblemer vu komplexe Déiflächerstrukturen iwwerwonne ginn.
2. Personaliséierbar, ënnerstëtzt verschidde Gréissten
Ënnerstëtzt Glassubstrater vu verschiddene Gréissten, dorënner Spezifikatioune vu 600 × 600 mm / 510 × 515 mm oder méi grouss.
3. Prozessflexibilitéit, kompatibel mat verschiddene Materialien
D'Ausrüstung ass kompatibel mat leitfäegen oder funktionelle Dënnschichtmaterialien wéi Cu, Ti, W, Ni a Pt, a erfëllt doduerch ënnerschiddlech Uwendungsbedürfnisser a punkto Leitfäegkeet a Korrosiounsbeständegkeet.
4. Stabil Ausrüstungsleistung, einfach Ënnerhalt
D'Ausrüstung ass mat engem intelligenten Kontrollsystem ausgestatt, deen eng automatesch Parameteranpassung an Echtzäit-Iwwerwaachung vun der Schichtdickeuniformitéit erméiglecht; et benotzt e modulare Design fir einfach Ënnerhalt, wat d'Ausfallzäit reduzéiert.
Applikatioun:Kann fir fortgeschratt TGV/TSV/TMV Verpackungen benotzt ginn, a kann eng Déiflächer-Saatschichtbeschichtung mat engem Aspektverhältnis ≥10:1 erreechen.