Processus polymerizationis plasmatis directae
Processus polymerisationis plasmatis relative simplex est et pro apparatu polymerisationis electrodi interni et pro apparatu polymerisationis electrodi externi, sed selectio parametrorum maioris momenti est in polymerisatione plasmatis, quia parametri maiorem vim habent in structuram et effectum pellicularum polymericarum durante polymerisatione plasmatis.
Gradus operationis polymerisationis plasmatis directae sunt qui sequuntur:
(1) Vacuum purgatio
Vacuum naturale polymerizationis sub condicionibus vacui ad 1.3×10⁻¹Pa pumpandum est. Pro reactionibus polymerizationis quae requisita specialia ad moderandum contentum oxygenii vel nitrogenii requirunt, vacuum naturale etiam maius est.
(2) Monomer reactionis oneris vel gas mixtum gasis vectoris et monomeri
Gradus vacui est 13-130Pa. Ad polymerisationem plasmatis opus requirentem, modus et celeritas moderationis fluxus apta eligenda sunt, plerumque 10.100mL/min. In plasma, moleculae monomerorum ionizantur et dissociantur per bombardamentum particularum energeticarum, quod particulas activas, ut iones et gena activa, efficit. Particulae activae a plasmate activatae polymerisationem plasmatis in interfacie phasis gaseosae et phasis solidae subire possunt. Monomer fons praecursoris polymerisationis plasmatis est, et gas reactionis ingressus et monomer puritatem certam habere debent.
(3) Selectio fontis potentiae excitationis
Plasma generari potest utens fontibus potentiae DC, altae frequentiae, RF, vel micro-undarum ad ambitum plasmatis polymerizationi praebendum. Selectio fontis potentiae determinatur secundum requisita structurae et functionis polymeri.
(4) Selectio modi exonerationis
Pro requisitis polymerorum, polymerizatio plasmatica duos modos exonerationis eligere potest: exonerationem continuam vel exonerationem pulsatilem.
(5) Selectio parametrorum emissionis
Cum polymerizatio plasmatis perficitur, parametri exonerationis ex parametris plasmatis, proprietatibus polymeri et requisitis structurae considerandi sunt. Magnitudo potentiae applicatae per polymerizationem determinatur a volumine camerae vacui, magnitudine electrodi, celeritate fluxus et structura monomeri, celeritate polymerizationis, et structura et effectu polymeri. Exempli gratia, si volumen camerae reactionis 1L est et polymerizatio plasmatis RF adhibetur, potentia exonerationis erit in intervallo 10~30W. Sub talibus condicionibus, plasma generatum aggregari potest ut tenuem pelliculam in superficie materiae formet. Celeritas accretionis pelliculae polymerizationis plasmatis variat cum fonte potentiae, genere monomeri et celeritate fluxus, et condicionibus processus. Generaliter, celeritas accretionis est 100nm/min~1um/min.
(6) Mensura parametrorum in polymerizatione plasmatica
Parametri plasmatis et parametri processus qui in polymerizatione plasmatis metiendi sunt includunt: tensio exonerationis, currentis exonerationis, frequentiae exonerationis, temperaturae electronum, densitatis, typi et concentrationis gregis reactionis, et cetera.
——Hic articulus a Guangdong Zhenhua Technology, societate technologica, divulgatus est.Fabricator machinarum ad obducendum opticum.
Tempus publicationis: V Nonas Maias, MMXXIII