ПРОДУКЦИЯНЫН СИПАТТАМАСЫ

Жабдуу артыкчылыгы

1. Deep Hole каптоо оптималдаштыруу

Эксклюзивдүү терең тешиктерди каптоо технологиясы: Zhenhua Vacuum компаниясынын өз алдынча иштеп чыккан терең тешиктерди каптоо технологиясы 30 микрометрге чейинки кичинекей тешиктер үчүн дагы 10:1 жогорку пропорцияга жетишип, татаал терең тешик структураларынын каптоо кыйынчылыктарын жеңе алат.

2. Настройкаланган, ар кандай өлчөмдөрдү колдойт

Ар кандай өлчөмдөгү айнек субстраттарды, анын ичинде 600×600мм / 510×515мм же андан чоңураак мүнөздөмөлөрдү колдойт.

3. Процесстин ийкемдүүлүгү, бир нече материалдар менен шайкеш келет

Жабдуу өткөргүч же функционалдык жука пленкалуу материалдар менен шайкеш келет, мисалы, Cu, Ti, W, Ni жана Pt, өткөргүчтүк жана коррозияга туруктуулук үчүн ар кандай колдонуу муктаждыктарын канааттандырат.

4. Туруктуу жабдуулар Performance, Easy Тейлөө

Жабдуу интеллектуалдык башкаруу системасы менен жабдылган, ал автоматтык параметрлерди жөнгө салууга жана пленканын калыңдыгынын бирдейлигине реалдуу убакыт режиминде мониторинг жүргүзүүгө мүмкүндүк берет; ал жеңил тейлөө үчүн модулдук дизайнды кабыл алат, токтоп калуу убактысын азайтат.

Колдонмо:TGV/TSV/TMV өнүккөн таңгактоо үчүн колдонулушу мүмкүн, аспектинин катышы ≥10:1 менен терең тешиктин үрөн катмарын каптоого жөндөмдүү.