Pêvajoya polîmerîzasyona rasterast a plazmayê

Pêvajoya polîmerîzasyona rasterast a plazmayê

Pêvajoya polîmerîzasyona Plazmayê hem ji bo alavên polîmerîzasyona elektroda navxweyî û hem jî ji bo alavên polîmerîzasyona elektroda derveyî nisbeten hêsan e, lê hilbijartina parametreyan di polîmerîzasyona Plazmayê de girîngtir e, ji ber ku parametre di dema polîmerîzasyona Plazmayê de bandorek mezintir li ser avahî û performansa fîlmên polîmer dikin.

Gavên operasyonê ji bo polîmerîzasyona rasterast a plazmayê wiha ne:

(1) Paqijkirina bi makîneya paqijkirinê

Divê valahiya paşxaneyê ya polîmerîzasyonê di bin şert û mercên valahiyê de heta 1.3×10-1Pa were pompkirin. Ji bo reaksiyonên polîmerîzasyonê yên ku ji bo kontrolkirina naveroka oksîjen an nîtrojenê pêdiviyên taybetî hewce dikin, hewcedariya valahiya paşxaneyê hîn bilindtir e.

(2) Monomerê reaksiyona bargiraniyê an gaza tevlihev a gaza hilgir û monomerê

Asta valahiyê 13-130Pa ye. Ji bo polîmerîzasyona Plazmayê ku kar hewce dike, divê moda kontrola herikînê û rêjeya herikînê ya guncaw were hilbijartin, bi gelemperî 10.100mL/min. Di plazmayê de, molekulên monomer bi bombebarana perçeyên enerjîk têne iyonîzekirin û ji hev vediqetin, di encamê de perçeyên çalak ên wekî iyon û genên çalak çêdibin. Perçeyên çalak ên ku ji hêla plazmayê ve têne çalak kirin dikarin li ser rûbera qonaxa gazê û qonaxa hişk polîmerîzasyona Plazmayê derbas bikin. Monomer çavkaniya pêşengê polîmerîzasyona Plazmayê ye, û gaza reaksiyonê ya têketinê û monomer divê paqijiyek diyarkirî hebe.

(3) Hilbijartina dabînkirina hêza ajîtasyonê

Plazma dikare bi karanîna çavkaniyên hêzê yên DC, frekanseke bilind, RF, an mîkropêlê were çêkirin da ku hawîrdorek plazmayê ji bo polîmerîzasyonê peyda bike. Hilbijartina dabînkirina hêzê li gorî hewcedariyên ji bo avahî û performansa polîmerê tê destnîşankirin.

(4) Hilbijartina moda derxistinê

Ji bo hewcedariyên polîmer, polîmerîzasyona plazmayê dikare du modên dakêşanê hilbijêre: dakêşana domdar an dakêşana pulsê.

(5) Hilbijartina parametreyên derxistinê

Dema ku polîmerîzasyona Plazmayê tê kirin, pêdivî ye ku parametreyên derxistinê ji parametreyên plazmayê, taybetmendiyên polîmer û hewcedariyên avahiyê werin hesibandin. Mezinahiya hêza ku di dema polîmerîzasyonê de tê sepandin ji hêla qebareya odeya valahiyê, mezinahiya elektrodê, rêjeya herikîna monomer û avahiya wê, rêjeya polîmerîzasyonê, û avahî û performansa polîmer ve tê destnîşankirin. Mînakî, heke qebareya odeya reaksiyonê 1L be û polîmerîzasyona Plazmaya RF were pejirandin, hêza derxistinê dê di navbera 10~30W de be. Di bin şert û mercên weha de, plazmaya ku tê hilberandin dikare li ser rûyê perçeyê fîlmek zirav çêbike û kom bibe. Rêjeya mezinbûna fîlma polîmerîzasyona Plazmayê li gorî dabînkirina hêzê, celebê monomer û rêjeya herikînê, û şert û mercên pêvajoyê diguhere. Bi gelemperî, rêjeya mezinbûnê 100nm/min~1um/min e.

(6) Pîvandina parametreyan di polîmerîzasyona plazmayê de

Parametreyên plazmayê û parametreyên pêvajoyê yên ku di polîmerîzasyona plazmayê de werin pîvandin ev in: voltaja dakêşanê, herika dakêşanê, frekansa dakêşanê, germahiya elektronan, dendik, celeb û konsantrasyona koma reaksiyonê, û hwd.

——Ev gotar ji hêla Guangdong Zhenhua Technology ve hate weşandin, açêkerê makîneyên pêçandina optîkî.