Teknolojiya danîna bi alîkariya tîrêjên îyonê, teknolojiya pêçandina bi derzîkirina tîrêjên îyonê û danîna buharê ye ku bi teknolojiya pêvajoya kompozîta rûyê îyonê re tê hev kirin. Di pêvajoya guherandina rûyê materyalên derzîkirî yên îyonê de, çi materyalên nîvconductor bin çi materyalên endezyariyê bin, pir caran tê xwestin ku qalindahiya qata guhertî ji ya çandina îyonê pir mezintir be, lê di heman demê de tê xwestin ku avantajên pêvajoya derzîkirina îyonê werin parastin, wekî qata guhertî û substratê di navbera rûbera tûj de, dikare di germahiya odeyê de li perçeya kar were hilberandin, û hwd. Ji ber vê yekê, bi hevberkirina çandina îyonê bi teknolojiya pêçandinê re, îyonên bi enerjiyek diyarkirî di dema pêçandinê de bi berdewamî di rûbera di navbera fîlm û substratê de têne derzî kirin, û atomên rûberê bi alîkariya pevçûnên kaskadê têne tevlihev kirin, herêmek veguheztina tevlihevkirina atomê li nêzî rûbera destpêkê çêdike da ku hêza girêdanê di navbera fîlm û substratê de baştir bike. Dûv re, li ser herêma tevlihevkirina atomê, fîlm bi qalindahî û taybetmendiyên pêwîst bi beşdariya tîrêjên îyonê mezin dibe.
Ev wekî Depozîsyona Bi Alîkariya Tîrêjên Îyonê (IBED) tê binavkirin, ku taybetmendiyên pêvajoya çandina îyonê diparêze di heman demê de dihêle ku substrat bi materyalek fîlimek zirav were pêçandin ku bi tevahî ji substratê cûda ye.
Depokirina bi alîkariya tîrêjên îyonê xwedî avantajên jêrîn e.
(1) Ji ber ku danîna bi alîkariya tîrêjên îyonê plazmayê bêyî derxistina gazê çêdike, pêçandin dikare di zextek <10-2 Pa de were kirin, ku qirêjiya gazê kêm dike.
(2) Parametreyên bingehîn ên pêvajoyê (enerjiya îyonê, dendika îyonê) elektrîkî ne. Bi gelemperî ne hewce ye ku herikîna gazê û parametreyên din ên ne-elektrîkî werin kontrol kirin, hûn dikarin mezinbûna qata fîlmê bi hêsanî kontrol bikin, pêkhate û avahiya fîlmê rast bikin, bi hêsanî dubarekirina pêvajoyê misoger bikin.
(3) Rûyê perçeya kar dikare bi fîlmek were pêçandin ku bi tevahî ji substratê cuda ye û qalindahiya wê bi enerjiya îyonên bombebaranê di germahiya nizm de (<200℃) nayê sînordarkirin. Ew ji bo dermankirina rûyê fîlmên fonksiyonel ên dopkirî, qalibên rast ên makîneya sar û pola avahiyê ya germkirî ya germahiya nizm guncaw e.
(4) Ew pêvajoyek ne-hevseng e ku di germahiya odeyê de tê kontrol kirin. Fîlmên fonksiyonel ên nû yên wekî qonaxên germahiya bilind, qonaxên ne-stabîl, alloyên amorf, û hwd. dikarin di germahiya odeyê de werin bidestxistin.
Dezavantajên depokirina bi alîkariya tîrêjên îyonê ev in.
(1) Ji ber ku tîrêjên îyonê xwedî taybetmendiyên tîrêjên rasterast in, zehmet e ku meriv bi şiklê rûyê tevlihev ê perçeyê kar re mijûl bibe.
(2) Ji ber sînordarkirina mezinahiya herikîna tîrêjên îyonê, mijûlbûna bi perçeyên kar ên mezin û rûbera mezin dijwar e.
(3) Rêjeya pêkhatina bi alîkariya tîrêjên îyonê bi gelemperî dora 1nm/s ye, ku ji bo amadekirina tebeqeyên fîlmên tenik guncaw e, û ji bo pêçandina mîqdarên mezin ên berheman ne guncaw e.
- Ev gotar ji hêlaçêkerê makîneya boyaxkirina valahiyêGuangdong Zhenhua
Dema weşandinê: 16ê Mijdarê-2023