플라즈마 직접 중합 공정

플라즈마 직접 중합 공정

플라즈마 중합 공정은 내부 전극 중합 장비와 외부 전극 중합 장비 모두에서 비교적 간단하지만, 플라즈마 중합에서는 매개변수 선택이 더욱 중요합니다. 왜냐하면 플라즈마 중합 중에 매개변수가 폴리머 필름의 구조와 성능에 더 큰 영향을 미치기 때문입니다.

직접 플라즈마 중합의 작동 단계는 다음과 같습니다.

(1) 진공 청소

진공 조건에서 중합 반응의 배경 진공은 1.3×10-1Pa까지 펌핑해야 합니다. 산소 또는 질소 함량 제어를 위한 특별한 요건이 필요한 중합 반응의 경우, 배경 진공 요건은 더욱 높아야 합니다.

(2) 충전 반응 모노머 또는 캐리어 가스와 모노머의 혼합 가스

진공도는 13~130Pa입니다. 작업이 필요한 플라즈마 중합의 경우, 적절한 유량 제어 모드와 유량(일반적으로 10,100mL/min)을 선택해야 합니다. 플라즈마에서 단량체 분자는 고에너지 입자의 충격에 의해 이온화되고 해리되어 이온 및 활성 유전자와 같은 활성 입자를 생성합니다. 플라즈마에 의해 활성화된 활성 입자는 기체상과 고체상의 계면에서 플라즈마 중합을 진행할 수 있습니다. 단량체는 플라즈마 중합의 전구체 공급원이며, 투입되는 반응 가스와 단량체는 특정 순도를 가져야 합니다.

(3) 여자전원 선정

플라즈마는 DC, 고주파, RF 또는 마이크로파 전원을 사용하여 중합을 위한 플라즈마 환경을 조성할 수 있습니다. 전원 공급 장치의 선택은 폴리머의 구조 및 성능 요건을 고려하여 결정됩니다.

(4) 방전모드 선택

폴리머 요구 사항에 따라, 플라즈마 중합은 연속 방전 또는 펄스 방전의 두 가지 방전 모드를 선택할 수 있습니다.

(5) 배출 매개변수의 선택

플라즈마 중합을 수행할 때는 플라즈마 매개 변수, 폴리머 특성 및 구조 요건을 고려하여 방전 매개 변수를 고려해야 합니다. 중합 중 인가되는 전력의 크기는 진공 챔버의 부피, 전극 크기, 모노머 유량 및 구조, 중합 속도, 그리고 폴리머 구조 및 성능에 따라 결정됩니다. 예를 들어, 반응 챔버 부피가 1L이고 RF 플라즈마 중합을 사용하는 경우, 방전 전력은 10~30W 범위가 됩니다. 이러한 조건에서 생성된 플라즈마는 응집되어 작업물 표면에 박막을 형성할 수 있습니다. 플라즈마 중합 박막의 성장 속도는 공급 전력, 모노머 종류 및 유량, 그리고 공정 조건에 따라 달라집니다. 일반적으로 성장 속도는 100nm/min~1um/min입니다.

(6) 플라즈마 중합에서의 파라미터 측정

플라스마 중합에서 측정해야 할 플라스마 매개변수와 공정 매개변수에는 다음이 포함됩니다: 방전 전압, 방전 전류, 방전 주파수, 전자 온도, 밀도, 반응 그룹 유형 및 농도 등.

——이 기사는 광동진화기술(Guangdong Zhenhua Technology)에서 발행한 것입니다.광학 코팅기 제조업체.