ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ನೇರ ಪಾಲಿಮರೀಕರಣ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ

ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ನೇರ ಪಾಲಿಮರೀಕರಣ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆ

ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಪಾಲಿಮರೀಕರಣ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯು ಆಂತರಿಕ ಎಲೆಕ್ಟ್ರೋಡ್ ಪಾಲಿಮರೀಕರಣ ಉಪಕರಣಗಳು ಮತ್ತು ಬಾಹ್ಯ ಎಲೆಕ್ಟ್ರೋಡ್ ಪಾಲಿಮರೀಕರಣ ಉಪಕರಣಗಳಿಗೆ ತುಲನಾತ್ಮಕವಾಗಿ ಸರಳವಾಗಿದೆ, ಆದರೆ ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಪಾಲಿಮರೀಕರಣದಲ್ಲಿ ನಿಯತಾಂಕ ಆಯ್ಕೆಯು ಹೆಚ್ಚು ಮುಖ್ಯವಾಗಿದೆ, ಏಕೆಂದರೆ ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಪಾಲಿಮರೀಕರಣದ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ನಿಯತಾಂಕಗಳು ಪಾಲಿಮರ್ ಫಿಲ್ಮ್‌ಗಳ ರಚನೆ ಮತ್ತು ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯ ಮೇಲೆ ಹೆಚ್ಚಿನ ಪರಿಣಾಮ ಬೀರುತ್ತವೆ.

ನೇರ ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಪಾಲಿಮರೀಕರಣದ ಕಾರ್ಯಾಚರಣೆಯ ಹಂತಗಳು ಈ ಕೆಳಗಿನಂತಿವೆ:

(1) ನಿರ್ವಾತ ಶುದ್ಧೀಕರಣ

ನಿರ್ವಾತ ಪರಿಸ್ಥಿತಿಗಳಲ್ಲಿ ಪಾಲಿಮರೀಕರಣದ ಹಿನ್ನೆಲೆ ನಿರ್ವಾತವನ್ನು 1.3×10-1Pa ಗೆ ಪಂಪ್ ಮಾಡಬೇಕು. ಆಮ್ಲಜನಕ ಅಥವಾ ಸಾರಜನಕದ ಅಂಶವನ್ನು ನಿಯಂತ್ರಿಸಲು ವಿಶೇಷ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳ ಅಗತ್ಯವಿರುವ ಪಾಲಿಮರೀಕರಣ ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯೆಗಳಿಗೆ, ಹಿನ್ನೆಲೆ ನಿರ್ವಾತದ ಅವಶ್ಯಕತೆ ಇನ್ನೂ ಹೆಚ್ಚಾಗಿರುತ್ತದೆ.

(2) ಚಾರ್ಜ್ ರಿಯಾಕ್ಷನ್ ಮಾನೋಮರ್ ಅಥವಾ ವಾಹಕ ಅನಿಲ ಮತ್ತು ಮಾನೋಮರ್‌ನ ಮಿಶ್ರ ಅನಿಲ

ನಿರ್ವಾತದ ಮಟ್ಟ 13-130Pa. ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಪಾಲಿಮರೀಕರಣದ ಅಗತ್ಯವಿರುವ ಕೆಲಸಕ್ಕೆ, ಸೂಕ್ತವಾದ ಹರಿವಿನ ನಿಯಂತ್ರಣ ಮೋಡ್ ಮತ್ತು ಹರಿವಿನ ದರವನ್ನು ಆಯ್ಕೆ ಮಾಡಬೇಕು, ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ 10.100mL/ನಿಮಿಷ. ಪ್ಲಾಸ್ಮಾದಲ್ಲಿ, ಮಾನೋಮರ್ ಅಣುಗಳನ್ನು ಅಯಾನೀಕರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ ಮತ್ತು ಶಕ್ತಿಯುತ ಕಣಗಳ ಬಾಂಬ್ ದಾಳಿಯಿಂದ ಬೇರ್ಪಡಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ, ಇದರ ಪರಿಣಾಮವಾಗಿ ಅಯಾನುಗಳು ಮತ್ತು ಸಕ್ರಿಯ ಜೀನ್‌ಗಳಂತಹ ಸಕ್ರಿಯ ಕಣಗಳು ಉಂಟಾಗುತ್ತವೆ. ಪ್ಲಾಸ್ಮಾದಿಂದ ಸಕ್ರಿಯಗೊಳಿಸಲಾದ ಸಕ್ರಿಯ ಕಣಗಳು ಅನಿಲ ಹಂತ ಮತ್ತು ಘನ ಹಂತದ ಇಂಟರ್ಫೇಸ್‌ನಲ್ಲಿ ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಪಾಲಿಮರೀಕರಣಕ್ಕೆ ಒಳಗಾಗಬಹುದು. ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಪಾಲಿಮರೀಕರಣಕ್ಕೆ ಮಾನೋಮರ್ ಪೂರ್ವಗಾಮಿ ಮೂಲವಾಗಿದೆ ಮತ್ತು ಇನ್‌ಪುಟ್ ರಿಯಾಕ್ಷನ್ ಅನಿಲ ಮತ್ತು ಮಾನೋಮರ್ ನಿರ್ದಿಷ್ಟ ಶುದ್ಧತೆಯನ್ನು ಹೊಂದಿರಬೇಕು.

(3) ಪ್ರಚೋದನಾ ವಿದ್ಯುತ್ ಸರಬರಾಜಿನ ಆಯ್ಕೆ

ಪಾಲಿಮರೀಕರಣಕ್ಕಾಗಿ ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಪರಿಸರವನ್ನು ಒದಗಿಸಲು DC, ಹೈ-ಫ್ರೀಕ್ವೆನ್ಸಿ, RF ಅಥವಾ ಮೈಕ್ರೋವೇವ್ ವಿದ್ಯುತ್ ಮೂಲಗಳನ್ನು ಬಳಸಿಕೊಂಡು ಪ್ಲಾಸ್ಮಾವನ್ನು ಉತ್ಪಾದಿಸಬಹುದು. ಪಾಲಿಮರ್‌ನ ರಚನೆ ಮತ್ತು ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳನ್ನು ಆಧರಿಸಿ ವಿದ್ಯುತ್ ಸರಬರಾಜಿನ ಆಯ್ಕೆಯನ್ನು ನಿರ್ಧರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ.

(4) ಡಿಸ್ಚಾರ್ಜ್ ಮೋಡ್ ಆಯ್ಕೆ

ಪಾಲಿಮರ್ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳಿಗಾಗಿ, ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಪಾಲಿಮರೀಕರಣವು ಎರಡು ಡಿಸ್ಚಾರ್ಜ್ ವಿಧಾನಗಳನ್ನು ಆಯ್ಕೆ ಮಾಡಬಹುದು: ನಿರಂತರ ಡಿಸ್ಚಾರ್ಜ್ ಅಥವಾ ಪಲ್ಸ್ ಡಿಸ್ಚಾರ್ಜ್.

(5) ಡಿಸ್ಚಾರ್ಜ್ ನಿಯತಾಂಕಗಳ ಆಯ್ಕೆ

ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಪಾಲಿಮರೀಕರಣವನ್ನು ನಡೆಸುವಾಗ, ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ನಿಯತಾಂಕಗಳು, ಪಾಲಿಮರ್ ಗುಣಲಕ್ಷಣಗಳು ಮತ್ತು ರಚನೆಯ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳಿಂದ ಡಿಸ್ಚಾರ್ಜ್ ನಿಯತಾಂಕಗಳನ್ನು ಪರಿಗಣಿಸಬೇಕಾಗುತ್ತದೆ. ಪಾಲಿಮರೀಕರಣದ ಸಮಯದಲ್ಲಿ ಅನ್ವಯಿಸಲಾದ ಶಕ್ತಿಯ ಪ್ರಮಾಣವನ್ನು ನಿರ್ವಾತ ಕೊಠಡಿಯ ಪರಿಮಾಣ, ಎಲೆಕ್ಟ್ರೋಡ್ ಗಾತ್ರ, ಮಾನೋಮರ್ ಹರಿವಿನ ಪ್ರಮಾಣ ಮತ್ತು ರಚನೆ, ಪಾಲಿಮರೀಕರಣ ದರ ಮತ್ತು ಪಾಲಿಮರ್ ರಚನೆ ಮತ್ತು ಕಾರ್ಯಕ್ಷಮತೆಯಿಂದ ನಿರ್ಧರಿಸಲಾಗುತ್ತದೆ. ಉದಾಹರಣೆಗೆ, ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯಾ ಕೊಠಡಿಯ ಪರಿಮಾಣ 1L ಆಗಿದ್ದರೆ ಮತ್ತು RF ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಪಾಲಿಮರೀಕರಣವನ್ನು ಅಳವಡಿಸಿಕೊಂಡರೆ, ಡಿಸ್ಚಾರ್ಜ್ ಶಕ್ತಿಯು 10~30W ವ್ಯಾಪ್ತಿಯಲ್ಲಿರುತ್ತದೆ. ಅಂತಹ ಪರಿಸ್ಥಿತಿಗಳಲ್ಲಿ, ಉತ್ಪತ್ತಿಯಾಗುವ ಪ್ಲಾಸ್ಮಾವು ವರ್ಕ್‌ಪೀಸ್‌ನ ಮೇಲ್ಮೈಯಲ್ಲಿ ತೆಳುವಾದ ಫಿಲ್ಮ್ ಅನ್ನು ರೂಪಿಸಲು ಒಟ್ಟುಗೂಡಿಸಬಹುದು. ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಪಾಲಿಮರೀಕರಣ ಫಿಲ್ಮ್‌ನ ಬೆಳವಣಿಗೆಯ ದರವು ವಿದ್ಯುತ್ ಸರಬರಾಜು, ಮಾನೋಮರ್ ಪ್ರಕಾರ ಮತ್ತು ಹರಿವಿನ ಪ್ರಮಾಣ ಮತ್ತು ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಪರಿಸ್ಥಿತಿಗಳೊಂದಿಗೆ ಬದಲಾಗುತ್ತದೆ. ಸಾಮಾನ್ಯವಾಗಿ, ಬೆಳವಣಿಗೆಯ ದರ 100nm/min~1um/min.

(6) ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಪಾಲಿಮರೀಕರಣದಲ್ಲಿ ನಿಯತಾಂಕ ಮಾಪನ

ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ಪಾಲಿಮರೀಕರಣದಲ್ಲಿ ಅಳೆಯಬೇಕಾದ ಪ್ಲಾಸ್ಮಾ ನಿಯತಾಂಕಗಳು ಮತ್ತು ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ನಿಯತಾಂಕಗಳು: ಡಿಸ್ಚಾರ್ಜ್ ವೋಲ್ಟೇಜ್, ಡಿಸ್ಚಾರ್ಜ್ ಕರೆಂಟ್, ಡಿಸ್ಚಾರ್ಜ್ ಆವರ್ತನ, ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನ್ ತಾಪಮಾನ, ಸಾಂದ್ರತೆ, ಪ್ರತಿಕ್ರಿಯೆ ಗುಂಪಿನ ಪ್ರಕಾರ ಮತ್ತು ಸಾಂದ್ರತೆ, ಇತ್ಯಾದಿ.

——ಈ ಲೇಖನವನ್ನು ಗುವಾಂಗ್‌ಡಾಂಗ್ ಝೆನ್‌ಹುವಾ ಟೆಕ್ನಾಲಜಿ ಬಿಡುಗಡೆ ಮಾಡಿದೆ, ಎಆಪ್ಟಿಕಲ್ ಲೇಪನ ಯಂತ್ರಗಳ ತಯಾರಕರು.