បច្ចេកវិជ្ជានៃការដាក់ស្រទាប់អ៊ីយ៉ុងដែលមានជំនួយពីធ្នឹមអ៊ីយ៉ុង គឺជាបច្ចេកវិទ្យានៃការចាក់បញ្ចូលធ្នឹមអ៊ីយ៉ុង និងបច្ចេកវិជ្ជានៃការស្រោបដោយចំហាយទឹក រួមបញ្ចូលគ្នាជាមួយនឹងបច្ចេកវិទ្យាដំណើរការសមាសធាតុផ្ទៃអ៊ីយ៉ុង។ នៅក្នុងដំណើរការនៃការកែប្រែផ្ទៃនៃវត្ថុធាតុចាក់បញ្ចូលអ៊ីយ៉ុង មិនថាសម្ភារៈ semiconductor ឬសម្ភារៈវិស្វកម្មទេ ជារឿយៗគេចង់បានថាកម្រាស់នៃស្រទាប់ដែលបានកែប្រែគឺធំជាងការផ្សាំអ៊ីយ៉ុង ប៉ុន្តែក៏ចង់រក្សានូវគុណសម្បត្តិនៃដំណើរការចាក់អ៊ីយ៉ុងផងដែរ ដូចជាស្រទាប់ដែលបានកែប្រែ និងស្រទាប់ខាងក្រោមរវាងចំណុចប្រទាក់មុតស្រួច អាចដំណើរការបាននៅសីតុណ្ហភាពបន្ទប់។ល។ ដូច្នេះដោយការរួមបញ្ចូលគ្នារវាងការផ្សាំអ៊ីយ៉ុងជាមួយនឹងបច្ចេកវិទ្យាថ្នាំកូត អ៊ីយ៉ុងដែលមានថាមពលជាក់លាក់មួយត្រូវបានចាក់ជាបន្តបន្ទាប់ទៅក្នុងចំណុចប្រទាក់រវាងខ្សែភាពយន្ត និងស្រទាប់ខាងក្រោមខណៈពេលកំពុងស្រោប ហើយអាតូម interfacial ត្រូវបានលាយជាមួយជំនួយនៃការប៉ះទង្គិចគ្នាបង្កើតជាតំបន់ផ្លាស់ប្តូរលាយអាតូមនៅជិតចំណុចប្រទាក់ដំបូង ដើម្បីកែលម្អកម្លាំងភ្ជាប់រវាងខ្សែភាពយន្ត និងស្រទាប់ខាងក្រោម។ បនា្ទាប់មកនៅលើតំបន់លាយអាតូមខ្សែភាពយន្តដែលមានកម្រាស់និងលក្ខណៈសម្បត្តិចាំបាច់បន្តកើនឡើងដោយមានការចូលរួមពីធ្នឹមអ៊ីយ៉ុង។
នេះត្រូវបានគេហៅថា Ion Beam Assisted Deposition (IBED) ដែលរក្សានូវលក្ខណៈនៃដំណើរការផ្សាំអ៊ីយ៉ុង ខណៈពេលដែលអនុញ្ញាតឱ្យស្រទាប់ខាងក្រោមត្រូវបានស្រោបដោយសម្ភារៈខ្សែភាពយន្តស្តើង ដែលខុសគ្នាទាំងស្រុងពីស្រទាប់ខាងក្រោម។
ការដាក់ជំនួយដោយធ្នឹមអ៊ីយ៉ុងមានគុណសម្បត្តិដូចខាងក្រោម។
(1) ចាប់តាំងពីស្រទាប់អ៊ីយ៉ុងជំនួយបង្កើតប្លាស្មាដោយគ្មានការបញ្ចេញឧស្ម័ន ថ្នាំកូតអាចត្រូវបានអនុវត្តនៅសម្ពាធ <10-2 Pa ដែលកាត់បន្ថយការបំពុលឧស្ម័ន។
(2) ប៉ារ៉ាម៉ែត្រដំណើរការជាមូលដ្ឋាន (ថាមពលអ៊ីយ៉ុងដង់ស៊ីតេអ៊ីយ៉ុង) គឺជាអគ្គិសនី។ ជាទូទៅមិនចាំបាច់គ្រប់គ្រងលំហូរឧស្ម័ន និងប៉ារ៉ាម៉ែត្រផ្សេងទៀតដែលមិនមែនជាអគ្គិសនីទេ អ្នកអាចគ្រប់គ្រងការលូតលាស់នៃស្រទាប់ខ្សែភាពយន្តបានយ៉ាងងាយស្រួល កែសម្រួលសមាសភាព និងរចនាសម្ព័ន្ធនៃខ្សែភាពយន្ត ងាយស្រួលក្នុងការធានានូវដំណើរការដដែលៗ។
(3) ផ្ទៃនៃ workpiece អាចត្រូវបានស្រោបដោយខ្សែភាពយន្តដែលខុសគ្នាទាំងស្រុងពីស្រទាប់ខាងក្រោមហើយកម្រាស់មិនត្រូវបានកំណត់ដោយថាមពលនៃអ៊ីយ៉ុងទម្លាក់គ្រាប់បែកនៅសីតុណ្ហភាពទាប (<200 ℃) ។ វាស័ក្តិសមសម្រាប់ការព្យាបាលលើផ្ទៃនៃខ្សែភាពយន្តមុខងារ doped, ផ្សិតជាក់លាក់ម៉ាស៊ីនត្រជាក់ និងដែកថែបរចនាសម្ព័ន្ធដែលមានសីតុណ្ហភាពទាប។
(4) វាគឺជាដំណើរការមិនស្មើគ្នាដែលគ្រប់គ្រងនៅសីតុណ្ហភាពបន្ទប់។ ខ្សែភាពយន្តដែលមានមុខងារថ្មីៗដូចជា ដំណាក់កាលសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ ដំណាក់កាលរងស្ថេរភាព សារធាតុអាម៉ូញ៉ូមជាដើម អាចទទួលបាននៅសីតុណ្ហភាពបន្ទប់។
គុណវិបត្តិនៃ ion beam assisted deposition គឺ។
(1) ដោយសារតែធ្នឹមអ៊ីយ៉ុងមានលក្ខណៈវិទ្យុសកម្មផ្ទាល់ វាពិបាកក្នុងការដោះស្រាយជាមួយនឹងទម្រង់ផ្ទៃស្មុគស្មាញនៃស្នាដៃ។
(2) វាពិបាកក្នុងការដោះស្រាយជាមួយនឹងទំហំធំនិងផ្ទៃធំដោយសារតែដែនកំណត់នៃទំហំនៃស្ទ្រីមធ្នឹមអ៊ីយ៉ុង។
(3) អត្រានៃការបំភាយជំនួយពីធ្នឹមអ៊ីយ៉ុងជាធម្មតាមានប្រហែល 1nm/s ដែលសមរម្យសម្រាប់ការរៀបចំស្រទាប់ខ្សែភាពយន្តស្តើង និងមិនស័ក្តិសមសម្រាប់ការដាក់ចានផលិតផលក្នុងបរិមាណច្រើន។
- អត្ថបទនេះត្រូវបានចេញផ្សាយដោយក្រុមហ៊ុនផលិតម៉ាស៊ីនបូមធូលីក្វាងទុងហ្សេនហួ
ពេលវេលាបង្ហោះ៖ ថ្ងៃទី ១៦ ខែវិច្ឆិកា ឆ្នាំ ២០២៣