აღჭურვილობის უპირატესობა
1. ღრმა ხვრელების საფარის ოპტიმიზაცია
ექსკლუზიური ღრმა ხვრელების საფარის ტექნოლოგია: Zhenhua Vacuum-ის მიერ შემუშავებული ღრმა ხვრელების საფარის ტექნოლოგიას შეუძლია მიაღწიოს 10:1-ის ტოლი უმაღლესი ასპექტის თანაფარდობას 30 მიკრომეტრის ზომით პატარა ღიობებისთვისაც კი, რითაც გადალახავს ღრმა ხვრელების რთული სტრუქტურების საფარის გამოწვევებს.
2. მორგებადი, მხარს უჭერს სხვადასხვა ზომებს
მხარს უჭერს სხვადასხვა ზომის მინის სუბსტრატებს, მათ შორის 600×600 მმ / 510×515 მმ ან უფრო დიდი სპეციფიკაციებით.
3. პროცესის მოქნილობა, თავსებადია მრავალ მასალასთან
აღჭურვილობა თავსებადია გამტარ ან ფუნქციურ თხელფენოვან მასალებთან, როგორიცაა Cu, Ti, W, Ni და Pt, და აკმაყოფილებს გამტარობისა და კოროზიისადმი მდგრადობის სხვადასხვა გამოყენების საჭიროებებს.
4. აღჭურვილობის სტაბილური მუშაობა, მარტივი მოვლა
აღჭურვილობა აღჭურვილია ინტელექტუალური მართვის სისტემით, რომელიც საშუალებას იძლევა პარამეტრების ავტომატური რეგულირებისა და ფირის სისქის ერთგვაროვნების რეალურ დროში მონიტორინგის; მას აქვს მოდულური დიზაინი მარტივი მოვლისთვის, რაც ამცირებს შეფერხების დროს.
განაცხადი:შეიძლება გამოყენებულ იქნას TGV/TSV/TMV-ის მოწინავე შეფუთვისთვის, რომელსაც შეუძლია ღრმა ხვრელების დათესვის ფენის დაფარვის მიღწევა ≥10:1 ასპექტის თანაფარდობით.