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中空陰極硬質めっき装置の技術原理は何ですか?

記事出典:振華真空
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公開日:2007年11月22日

イオンコーティングとは、真空チャンバー内で蒸発物質を解離またはガス放電させながら、ガスイオンまたは蒸発物質をイオン衝撃によって基板上に堆積させるプロセスである。中空陰極硬質コーティング装置の技術原理は、中空陰極イオンコーティングであり、これは中空陰極放電堆積技術である。

中空陰極放電蒸着の原理について:中空陰極放電蒸着技術は、高温陰極放電を用いてプラズマビームを生成し、陰極は中空のタンタル管です。陰極と補助陽極は互いに近接しており、これら2つの極がアーク放電を点火します。
中空容器の技術的原理は何ですか?
中空陰極放電蒸着銃は、2つの方法で点火する。
1. 陰極タンタル管に高周波電界を印加することで、陰​​極タンタル管内のアルゴンガスをアルゴンイオンに電離させ、その後、陰極タンタル管にアルゴンイオンを連続的に衝突させ、電子放出の最低温度基準まで加熱してプラズマ電子ビームを生成する。

2. 補助陽極と陰極のタンタル管の間に約300Vの直流電圧を印加すると、陰極タンタル管はアルゴンガスに通過し、1Pa~10Paのアルゴンガス圧下で補助陽極と陰極のタンタル管はグロー放電現象を起こし、アルゴンイオンの衝撃が陰極タンタル管に絶えず衝突し、2300K~2400Kの温度に達すると、陰極タンタル管は大量の電子を放出し、「グロー放電」から「アーク放電」に変化します。このとき電圧は30V~60Vと低いため、陰極と陽極の間に電源を供給するだけでプラズマ電子ビームを生成できます。

陰極めっき装置
1.元の銃の構造を改良し、元の最大電流を230Aから280Aに引き上げる。
2.従来の冷却システム構造を改良し、従来の4℃の氷水冷却から室温の冷却水冷却に変更することで、ユーザーの電気代を節約します。
3. 従来の機械式伝動構造を改良し、磁性流体伝動構造に変更することで、高温時にも回転フレームが詰まることがなくなりました。
4、有効コーティング面積¢ 650X1100は、750 X 1250X600の特大ダイおよびギアメーカーの超ロングブローチに対応でき、非常に大きな容量があります。

中空陰極イオンコーティング装置は、主に工具、金型、大型鏡型、プラスチック金型、ホブ盤用ナイフなどの製品のめっきに使用されます。


投稿日時:2022年11月7日