Ion qoplamasi deganda, reaktivlar yoki bug'langan materiallar substratga gaz ionlari yoki bug'langan materiallarning ion bombardimoni orqali cho'ktirilishi, bug'langan materiallar esa vakuum kamerasida dissotsiatsiyalanishi yoki gaz chiqarilishi tushuniladi. Bo'sh katodli qattiq qoplama uskunasining texnik printsipi bo'sh katodli ion qoplamasi bo'lib, u bo'sh katodli zaryadsizlantirishni cho'ktirish texnologiyasidir.
Bo'sh katodli razryadni cho'ktirish printsipi haqida: Bo'sh katodli razryadni cho'ktirish texnikasi plazma nurini hosil qilish uchun issiq katodli razryaddan foydalanadi va katod bo'sh tantal naychasidir. Katod va yordamchi anod bir-biriga yaqin joylashgan bo'lib, ular yoyli razryadni yoqadigan ikkita qutbdir.
Katodli ichi bo'sh zaryadsizlantirish to'pponchasi ikki xil usulda yonadi.
1, Katod tantal naychasiga yuqori chastotali elektr maydoni qo'llaniladi, shunda katod tantal naychasi argon gazini argon ionlariga ionlashtiradi va keyin katod tantal naychasi tomonidan doimiy ravishda argon ionlari bilan bombardimon qilinadi, issiqlik elektron emissiyasining minimal haroratiga qadar qiziguncha va plazma elektron nurini hosil qilguncha.
2, Yordamchi anod va katod tantal naychasida taxminan 300V DC kuchlanish qo'llanilishi o'rtasida katod tantal naychasi hali ham argon gaziga o'tadi, 1Pa-10Pa argon gaz bosimida yordamchi anod va katod tantal naychasining porlashi zaryadsizlanishi hodisasi, argon ion bombardimonining hosil bo'lishi katod tantal naychasini doimiy ravishda bombardimon qiladi, 2300K-2400K haroratgacha, katod tantal naychasi ko'p miqdordagi elektron chiqaradi, "porlashi zaryadsizlanishi" dan "yoy zaryadsizlanishi" ga o'zgaradi, bu safar kuchlanish 30V-60V gacha past bo'ladi, keyin katod va anod quvvat manbai o'rtasida bo'lsa, plazma elektron nurini yaratishingiz mumkin.
Katod qoplama uskunalari
1, asl qurol tuzilishini yaxshilang, asl maksimal oqim 230A dan 280A gacha.
2, asl sovutish tizimining tuzilishini yaxshilang, asl 4℃ muzli suv mashinasini sovutishdan xona haroratidagi sovutish suvi bilan sovutishgacha, foydalanuvchilar uchun elektr energiyasi narxini tejang.
3, asl mexanik uzatish tuzilishini yaxshilang, magnit suyuqlik uzatish tuzilishiga o'zgartiring, yuqori harorat aylanadigan ramkani siqib qo'ymaydi.
4, samarali qoplama maydoni ￠ 650X1100, juda katta hajmga ega bo'lgan 750 X 1250X600 katta o'lchamli qolip va tishli ishlab chiqaruvchilarni qo'llab-quvvatlashi mumkin.
Bo'sh katodli ion qoplama mashinasi asosan asboblar, qoliplar, katta oyna qoliplari, plastik qoliplar, pichoqlar va boshqa mahsulotlarni qoplashda qo'llaniladi.
Nashr vaqti: 2022-yil 7-noyabr