Ion qoplamasi reaktivlar yoki bug'langan materiallar gaz ionlari yoki bug'langan materiallarning ion bombardimoni orqali substratga yotqizilishini anglatadi, bug'langan materiallar dissotsiatsiyalanadi yoki vakuum kamerasida gaz chiqariladi.Bo'shliq katodli qattiq qoplama uskunasining texnik printsipi ichi bo'sh katodli ion qoplamasi bo'lib, bu ichi bo'sh katodli deşarj texnologiyasidir.
Bo'shliq katodli deşarj yotqizish printsipi haqida: ichi bo'sh katodli tushirish texnikasi plazma nurini yaratish uchun issiq katodli razryaddan foydalanadi va katod ichi bo'sh tantal trubkasidir.Katod va yordamchi anod bir-biriga yaqin joylashgan bo'lib, bu ikki qutb bo'lib, yoy zaryadini yoqib yuboradi.
Bo'shliq katodli tushirish tabancasi ikki yo'l bilan yonadi.
1, Katod tantal trubkasiga qo'llaniladigan yuqori chastotali elektr maydonidan foydalanish, shuning uchun katod tantal trubkasi argon gazining argon ionlariga ionlanishi va keyin katod tantal trubkasi tomonidan argon ionlari tomonidan doimiy ravishda bombardimon qilinadi, issiqlik qizib ketguncha. elektron emissiyasining minimal harorat standarti va plazma elektron nurini hosil qiladi.
2, Taxminan 300V doimiy kuchlanish qo'llanilishi orasidagi yordamchi anod va katod tantal trubkasida katod tantal trubkasi hali ham argon gaziga o'tadi, 1Pa-10Pa argon gaz bosimida, yordamchi anod va katod tantal trubkasi porlashi deşarj fenomeni, argon ioni bombardimonining avlodi doimiy ravishda katod tantal trubkasini bombardimon qiladi, 2300K-2400K haroratgacha, katod tantal trubkasi ko'p sonli elektronlarni chiqaradi, "porlash razryadi" dan "ark zaryadsizlanishi" ga o'zgaradi, bu safar kuchlanish shunday bo'ladi. 30V-60V gacha past, keyin elektr ta'minoti orasidagi katod va anod ekan, siz plazma elektron nurini yaratishingiz mumkin.
Katodik qoplama uskunalari
1、Asl qurol tuzilishini yaxshilang, asl maksimal oqim 230A dan 280A gacha.
2, Asl sovutish tizimining tuzilishini yaxshilang, 4 ℃ muzli suv mashinasini sovutishdan xona haroratida sovutish suvi sovutishgacha, foydalanuvchilar uchun elektr energiyasini tejash.
3, asl mexanik uzatish strukturasini yaxshilang, magnit suyuqlik uzatish tuzilishiga o'zgartirildi, yuqori harorat aylanadigan ramkani siqmaydi.
4, samarali qoplama maydoni ￠ 650X1100, juda katta hajmli, 750 X 1250X600 katta o'lchamli qolip va tishli ishlab chiqaruvchilarni sig'dira oladi.
Bo'shliq katodli ion qoplama mashinasi asosan asboblarni, qoliplarni, katta oyna qoliplarini, plastik qoliplarni, pichoq pichoqlarini va boshqa mahsulotlarni qoplashda qo'llaniladi.
Yuborilgan vaqt: 2022 yil 07-noyabr