Il rivestimento ionico consiste nel depositare i reagenti o i materiali evaporati sul substrato mediante bombardamento ionico di ioni gassosi o materiali evaporati, mentre questi ultimi vengono dissociati o scaricati in una camera a vuoto. Il principio tecnico dell'apparecchiatura per il rivestimento duro a catodo cavo è il rivestimento ionico a catodo cavo, che è una tecnologia di deposizione a scarica a catodo cavo.
Principio della deposizione a scarica a catodo cavo: la tecnica di deposizione a scarica a catodo cavo utilizza una scarica a catodo caldo per generare un fascio di plasma, e il catodo è un tubo cavo di tantalio. Il catodo e l'anodo ausiliario sono vicini tra loro e costituiscono i due poli che innescano la scarica ad arco.
La pistola a scarica a catodo cavo si innesca in due modi.
1. L'utilizzo di un campo elettrico ad alta frequenza applicato al tubo di tantalio del catodo, in modo che il gas argon del tubo di tantalio del catodo si ionizzi in ioni di argon e venga quindi innescato dal continuo bombardamento del tubo di tantalio del catodo da parte degli ioni di argon, fino a quando il calore non raggiunge la temperatura minima standard per l'emissione di elettroni e genera un fascio di elettroni di plasma.
2. Nell'anodo ausiliario e nel tubo di tantalio catodico, applicando una tensione continua di circa 300 V, il tubo di tantalio catodico passa ancora attraverso il gas argon. Alla pressione del gas argon di 1 Pa-10 Pa, si verifica il fenomeno della scarica a bagliore nell'anodo ausiliario e nel tubo di tantalio catodico. La generazione di ioni di argon bombarda costantemente il tubo di tantalio catodico, fino a raggiungere una temperatura di 2300 K-2400 K. Il tubo di tantalio catodico emette un gran numero di elettroni, passando dalla "scarica a bagliore" alla "scarica ad arco". A questo punto la tensione è bassa, tra 30 V e 60 V. Fintanto che l'alimentazione tra catodo e anodo è presente, è possibile generare un fascio di elettroni al plasma.
Apparecchiature per rivestimento catodico
1. Migliorare la struttura originale del cannone, portando la corrente massima originale da 230 A a 280 A.
2. Migliorare la struttura del sistema di raffreddamento originale, passando dal raffreddamento con acqua ghiacciata a 4℃ al raffreddamento con acqua a temperatura ambiente, con conseguente risparmio sui costi dell'elettricità per gli utenti.
3. Migliorata la struttura di trasmissione meccanica originale, convertita in una struttura di trasmissione a fluido magnetico, in modo che le alte temperature non blocchino il telaio rotante.
4, l'area di rivestimento effettiva ￠ 650X1100, può ospitare stampi sovradimensionati 750 X 1250X600, produttori di brocce extra-lunghe, con un volume molto grande.
La macchina per la deposizione di ioni a catodo cavo viene utilizzata principalmente per la placcatura di utensili, stampi, stampi per specchi di grandi dimensioni, stampi per materie plastiche, lame per fresatura e altri prodotti.
Data di pubblicazione: 7 novembre 2022