Ion örtügi diýmek, reagentleriň ýa-da buharlanan materiallaryň gaz ionlarynyň ýa-da buharlanan materiallaryň ion bombardmany arkaly substrata çökmegini aňladýar, buharlanan materiallar bolsa wakuum kamerasynda dissosiasiýa edilýär ýa-da gaz çykarylýar. Içki katodly gaty örtük enjamlarynyň tehniki prinsipi içki katodly ion örtügidir, bu bolsa içki katodly boşadyş çökündisiniň tehnologiýasydyr.
Içi boş katod boşadyş çökündisiniň prinsipi barada: Içi boş katod boşadyş çökündisiniň usuly plazma şöhlesini döretmek üçin gyzgyn katod boşadyşyny ulanýar we katod içi boş tantal turbasydyr. Katod we kömekçi anod biri-birine ýakyn ýerleşýär, olar ýaý boşadyşyny otlaýan iki polýusdyr.
Içi boş katod boşadyjy çökündi tabançasy iki usulda ot alýar.
1, Katod tantal turbasyna ýokary ýygylykly elektrik meýdany ulanylýar, şonuň üçin katod tantal turbasy argon gazyny argon ionlaryna ionlaşdyrýar we soňra katod tantal turbasy tarapyndan yzygiderli argon ionlary bilen bombardman edilýär, gyzgynlyk elektron emissiýasynyň minimal temperatura standartyna çenli gyzýança we plazma elektron şöhlesini döredýänçä.
2, Kömekçi anod we katod tantal turbasynda takmynan 300V DC wolt ulanylyşynyň arasynda katod tantal turbasy argon gazyna geçýär, 1Pa-10Pa argon gaz basyşynda kömekçi anod we katod tantal turbasynyň ýalpyldawuk boşalma hadysasy, argon ion bombardmanynyň döremegi katod tantal turbasyny yzygiderli bombardman edýär, 2300K-2400K temperatura çenli katod tantal turbasy köp sanly elektron çykarýar, "ýalpyldawuk boşalmadan" "ýaý boşalmasyna" üýtgeýär, bu gezek wolt 30V-60V çenli pes bolýar, soňra katod we anod elektrik üpjünçiliginiň arasynda bolsa, plazma elektron şöhlesini döredip bolýar.
Katod örtük enjamlary
1, asyl ýarag gurluşyny, asyl maksimum tok 230A-dan 280A-a çenli gowulandyryň.
2, asyl sowadyş ulgamynyň gurluşyny gowulandyryň, asyl 4℃ buzly suw maşynyny sowatmakdan otag temperaturasyndaky sowadyjy suw bilen sowatmaga çenli, ulanyjylar üçin elektrik energiýasynyň çykdajylaryny tygşytlaň.
3, asyl mehaniki geçirijilik gurluşyny gowulandyryň, magnit suwuklyk geçirijilik gurluşyna üýtgediň, ýokary temperatura aýlanýan çarçuwany gysmaz.
4, netijeli örtük meýdany ￠ 650X1100, örän uly göwrümli, 750 X 1250X600 uly ölçegli galyp we dişli öndürijileri ýerleşdirip bilýär.
Içi boş katod ion örtük maşyny, esasan, gurallaryň, galyplaryň, uly aýna galyplarynyň, plastik galyplaryň, pyçaklaryň we beýleki önümleriň örtülmeginde ulanylýar.
Ýerleşdirilen wagty: 2022-nji ýylyň 7-nji noýabry