Le revêtement ionique consiste à déposer des réactifs ou des matériaux évaporés sur un substrat par bombardement ionique (ions gazeux ou matériaux évaporés) lors de la dissociation ou de la décharge gazeuse des matériaux évaporés dans une chambre à vide. Le principe technique des équipements de revêtement dur à cathode creuse repose sur le revêtement ionique à cathode creuse, une technologie de dépôt par décharge à cathode creuse.
Principe du dépôt par décharge à cathode creuse : Cette technique utilise une décharge à cathode chaude pour générer un faisceau de plasma. La cathode est un tube de tantale creux. La cathode et l’anode auxiliaire sont très proches l’une de l’autre et constituent les deux pôles qui amorcent la décharge d’arc.
Le pistolet de dépôt par décharge à cathode creuse s'allume de deux manières.
1. L'utilisation d'un champ électrique à haute fréquence appliqué au tube de tantale cathodique permet l'ionisation du gaz argon du tube de tantale cathodique en ions argon, puis déclenche le bombardement continu du tube de tantale cathodique par ces ions argon, jusqu'à ce que la température atteigne le seuil minimal d'émission d'électrons et génère un faisceau d'électrons plasma.
2. Lorsqu'une tension continue d'environ 300 V est appliquée entre l'anode auxiliaire et la cathode du tube en tantale, ce dernier est plongé dans un gaz argon. Sous une pression d'argon de 1 à 10 Pa, un phénomène de décharge luminescente se produit entre l'anode auxiliaire et la cathode. Le bombardement constant d'ions argon sur le tube en tantale atteint une température de 2300 à 2400 K, et celui-ci émet alors un grand nombre d'électrons, passant d'une décharge luminescente à une décharge d'arc. La tension est alors aussi basse que 30 à 60 V. Dès lors, l'alimentation électrique entre la cathode et l'anode permet de générer un faisceau d'électrons plasma.
équipement de revêtement cathodique
1. Améliorer la structure originale du canon, en passant du courant maximal original de 230 A à 280 A.
2. Amélioration de la structure du système de refroidissement d'origine, en passant d'un refroidissement par machine à eau glacée à 4℃ à un refroidissement par eau à température ambiante, ce qui permet de réduire les coûts d'électricité pour les utilisateurs.
3. Amélioration de la structure de transmission mécanique d'origine, remplacée par une structure de transmission à fluide magnétique, les hautes températures ne bloqueront pas le cadre rotatif.
4, la zone de revêtement effective ￠ 650X1100 peut accueillir les fabricants de matrices et d'engrenages surdimensionnés de 750 X 1250X600 broches extra-longues, avec un très grand volume.
La machine de revêtement ionique à cathode creuse est principalement utilisée pour le placage d'outils, de moules, de grands moules à miroirs, de moules en plastique, de lames de taillage et d'autres produits.
Date de publication : 7 novembre 2022