Ионы бүрхүүл гэдэг нь урвалж бодисууд эсвэл ууршсан материалыг хийн ион эсвэл ууршсан материалыг ионоор бөмбөгдөх замаар суурь дээр хуримтлуулахыг хэлнэ. Ууршсан материалыг вакуум камерт диссоциацид оруулах эсвэл хий ялгаруулахыг хэлнэ. Хөндий катодын хатуу бүрхүүлийн төхөөрөмжийн техникийн зарчим нь хөндий катодын ионы бүрхүүл бөгөөд энэ нь хөндий катодын цэнэг алдалтын тунадасжуулалтын технологи юм.
Хөндий катодын цэнэг алдалтын зарчмын тухай: Хөндий катодын цэнэг алдалтын арга нь плазмын цацраг үүсгэхийн тулд халуун катодын цэнэг алдалтыг ашигладаг бөгөөд катод нь хөндий тантал хоолой юм. Катод болон туслах анод нь хоорондоо ойрхон байрладаг бөгөөд энэ нь нуман цэнэг алдалтыг асаадаг хоёр туйл юм.
Хөндий катодын цэнэглэх буу нь хоёр аргаар асдаг.
1, Катодын тантал хоолойд өндөр давтамжийн цахилгаан орон ашиглах замаар катодын тантал хоолойг аргон ион болгон ионжуулж, дараа нь катодын тантал хоолойг аргон ионоор тасралтгүй бөмбөгдөж, дулаан нь электрон ялгаралтын хамгийн бага температурын стандарт хүртэл халах хүртэл плазмын электрон цацраг үүсгэдэг.
2. Туслах анод ба катодын тантал хоолойд ойролцоогоор 300В тогтмол гүйдлийн хүчдэл хэрэглэх хооронд катодын тантал хоолой нь аргон хий рүү шилждэг хэвээр байгаа бөгөөд 1Pa-10Pa аргоны хийн даралтад туслах анод ба катодын тантал хоолойн гэрэлтэлт цэнэг алдалтын үзэгдэл үүсч, аргон ионы бөмбөгдөлт үүсч, катодын тантал хоолойг байнга бөмбөгддөг бөгөөд 2300K-2400K температур хүртэл катодын тантал хоолой олон тооны электрон ялгаруулж, "гэрэлтэлт цэнэг алдалт"-аас "нуман цэнэг алдалт" болж өөрчлөгддөг бөгөөд энэ удаад хүчдэл 30V-60V хүртэл буурч, дараа нь катод ба анод цахилгаан тэжээлийн хооронд байвал плазмын электрон цацраг үүсгэж болно.
Катодын бүрэх төхөөрөмж
1. Анхны бууны бүтцийг хамгийн их гүйдэл болох 230А-аас 280А болгон сайжруулна.
2, анхны хөргөлтийн системийн бүтцийг сайжруулж, анхны 4℃ мөстэй усны машины хөргөлтөөс эхлээд өрөөний температурт хөргөх усны хөргөлт хүртэл хэрэглэгчдийн цахилгааны зардлыг хэмнэнэ.
3, Анхны механик дамжуулалтын бүтцийг сайжруулж, соронзон шингэний дамжуулалтын бүтцийг өөрчилсөн, өндөр температур нь эргэлдэгч хүрээг гацахгүй.
4, үр дүнтэй бүрэх талбай ¢ 650X1100, 750 X 1250X600 том хэмжээтэй хэв болон араа үйлдвэрлэгчдэд маш урт брош хийх боломжтой бөгөөд маш том хэмжээтэй.
Хөндий катодын ионы бүрэх машиныг голчлон багаж хэрэгсэл, хэв, том толь хэв, хуванцар хэв, хутга болон бусад бүтээгдэхүүний бүрэлтэд ашигладаг.
Нийтэлсэн цаг: 2022 оны 11-р сарын 7