การเคลือบด้วยไอออน หมายถึงการนำสารตั้งต้นหรือวัสดุที่ระเหยแล้วไปตกตะกอนบนพื้นผิวโดยการชนของไอออนก๊าซหรือวัสดุที่ระเหยแล้ว ในขณะที่วัสดุที่ระเหยแล้วนั้นแตกตัวหรือถูกปล่อยก๊าซออกไปในห้องสุญญากาศ หลักการทางเทคนิคของอุปกรณ์เคลือบแข็งแบบแคโทดกลวงคือ การเคลือบด้วยไอออนแบบแคโทดกลวง ซึ่งเป็นเทคโนโลยีการตกตะกอนโดยการปล่อยประจุที่แคโทดกลวง
เกี่ยวกับหลักการของการตกตะกอนด้วยการปล่อยประจุจากแคโทดกลวง: เทคนิคการตกตะกอนด้วยการปล่อยประจุจากแคโทดกลวงใช้การปล่อยประจุจากแคโทดร้อนเพื่อสร้างลำแสงพลาสมา โดยแคโทดเป็นท่อแทนทาลัมกลวง แคโทดและแอโนดเสริมอยู่ใกล้กัน ซึ่งเป็นขั้วทั้งสองที่จุดประกายการปล่อยประจุอาร์ค
ปืนพ่นเคลือบแบบปล่อยประจุแคโทดกลวงสามารถจุดติดได้สองวิธี
1. การใช้สนามไฟฟ้าความถี่สูงกับหลอดแทนทาลัมแคโทด ทำให้ก๊าซอาร์กอนในหลอดแทนทาลัมแคโทดแตกตัวเป็นไอออนอาร์กอน จากนั้นไอออนอาร์กอนจะถูกกระตุ้นให้พุ่งชนหลอดแทนทาลัมแคโทดอย่างต่อเนื่อง จนกระทั่งความร้อนเพิ่มขึ้นถึงอุณหภูมิขั้นต่ำมาตรฐานของการปล่อยอิเล็กตรอนและสร้างลำแสงอิเล็กตรอนพลาสมา
2. เมื่อใช้แรงดันไฟฟ้ากระแสตรงประมาณ 300V กับท่อแทนทาลัมเสริมระหว่างขั้วแอโนดและแคโทด ท่อแทนทาลัมแคโทดจะยังคงสัมผัสกับก๊าซอาร์กอน ภายใต้ความดันก๊าซอาร์กอน 1Pa-10Pa จะเกิดปรากฏการณ์การปล่อยประจุเรืองแสงระหว่างท่อแทนทาลัมเสริมและแคโทด ไอออนของอาร์กอนที่เกิดขึ้นจะพุ่งชนท่อแทนทาลัมแคโทดอย่างต่อเนื่อง จนกระทั่งอุณหภูมิถึง 2300K-2400K ท่อแทนทาลัมแคโทดจะปล่อยอิเล็กตรอนจำนวนมากออกมา และจะเปลี่ยนจาก "การปล่อยประจุเรืองแสง" เป็น "การปล่อยประจุอาร์ค" ในเวลานี้แรงดันไฟฟ้าจะต่ำเพียง 30V-60V จากนั้นตราบใดที่มีการจ่ายไฟระหว่างแคโทดและแอโนด ก็สามารถสร้างลำแสงอิเล็กตรอนพลาสมาได้
อุปกรณ์เคลือบด้วยแคโทดิก
1. ปรับปรุงโครงสร้างปืนให้ดีขึ้น จากกระแสสูงสุดเดิม 230A เป็น 280A
2. ปรับปรุงโครงสร้างระบบระบายความร้อนเดิม จากระบบระบายความร้อนด้วยน้ำแข็ง 4℃ เป็นระบบระบายความร้อนด้วยน้ำอุณหภูมิห้อง เพื่อประหยัดค่าไฟฟ้าให้กับผู้ใช้งาน
3. ปรับปรุงโครงสร้างการส่งกำลังเชิงกลแบบเดิม เปลี่ยนเป็นโครงสร้างการส่งกำลังด้วยของเหลวแม่เหล็ก ซึ่งจะช่วยป้องกันเฟรมหมุนติดขัดแม้ในอุณหภูมิสูง
4. พื้นที่เคลือบที่มีประสิทธิภาพ ￠ 650x1100 สามารถรองรับแม่พิมพ์และเฟืองขนาดใหญ่พิเศษ 750 x 1250 x 600 สำหรับผู้ผลิตดอกเจาะแบบยาวพิเศษ ซึ่งมีปริมาตรขนาดใหญ่มาก
เครื่องเคลือบไอออนแบบแคโทดกลวงส่วนใหญ่ใช้ในการชุบผิวเครื่องมือ แม่พิมพ์ แม่พิมพ์กระจกขนาดใหญ่ แม่พิมพ์พลาสติก ใบมีดกัด และผลิตภัณฑ์อื่นๆ
วันที่โพสต์: 7 พฤศจิกายน 2022