Kumaha prinsip téknis tina alat palapis teuas katoda berongga？

Palapis ion hartina réaktan atanapi bahan anu nguap diendapkeun dina substrat ku cara ngabombardir ion tina ion gas atanapi bahan anu nguap sedengkeun bahan anu nguap dipisahkeun atanapi gas dikaluarkeun dina rohangan vakum. Prinsip téknis alat palapis teuas katoda berongga nyaéta palapis ion katoda berongga, nyaéta téknologi déposisi debit katoda berongga.

Ngeunaan prinsip déposisi debit katoda kosong: Téhnik déposisi debit katoda kosong ngagunakeun debit katoda panas pikeun ngahasilkeun sinar plasma, sareng katoda mangrupikeun tabung tantalum kosong. Katoda sareng anoda bantu caket pisan, nyaéta dua kutub anu ngahurungkeun debit busur.

Pistol déposisi debit katoda berongga hurung ku dua cara.
1, Panggunaan médan listrik frékuénsi luhur diterapkeun kana tabung tantalum katoda, supados tabung tantalum katoda ionisasi gas argon kana ion argon teras dipicu ku tabung tantalum katoda anu terus-terusan dibombardir ku ion argon, dugi ka panasna dugi ka standar suhu minimum émisi éléktron sareng ngahasilkeun sinar éléktron plasma.

2, Dina tabung tantalum anoda sareng katoda bantu antara aplikasi tegangan DC sakitar 300V, tabung tantalum katoda masih asup kana gas argon, dina tekanan gas argon 1Pa-10Pa, fenomena pelepasan cahaya tabung tantalum anoda bantu sareng katoda, generasi pemboman ion argon terus-terusan ngabombardir tabung tantalum katoda, dugi ka suhu 2300K-2400K, tabung tantalum katoda ngaluarkeun sajumlah ageung éléktron, bakal robih tina "pelepasan cahaya" janten "pelepasan busur", waktos ieu teganganna serendah 30V-60V, teras salami katoda sareng anoda antara catu daya, anjeun tiasa ngahasilkeun sinar éléktron plasma.

Peralatan palapis katodik
1, Ningkatkeun struktur bedil aslina, tina arus maksimum aslina 230A ka 280A.
2, Ningkatkeun struktur sistem pendingin aslina, tina pendinginan mesin cai és 4 ℃ aslina ka pendinginan cai pendingin suhu kamar, ngahémat biaya listrik pikeun pangguna.
3, Ningkatkeun struktur transmisi mékanis aslina, dirobih kana struktur transmisi cairan magnét, suhu anu luhur moal ngahalangan pigura anu muter.
4, daérah palapis anu efektif ￠ 650X1100, tiasa nampung 750 X 1250X600 pabrik die sareng gear anu ageung tina broach anu panjang pisan, kalayan volume anu ageung pisan.

Mesin palapis ion katoda berongga utamina dianggo dina palapis alat, kapang, kapang eunteung ageung, kapang plastik, péso kompor sareng produk sanésna.