İçi boş katotlu sert kaplama ekipmanının teknik prensibi nedir?

İyon kaplama, reaktiflerin veya buharlaştırılmış malzemelerin, vakum odasında buharlaştırılmış malzemelerin ayrıştırılması veya gaz deşarjı sırasında gaz iyonlarının iyon bombardımanı yoluyla alt tabaka üzerine biriktirilmesi anlamına gelir. İçi boş katotlu sert kaplama ekipmanının teknik prensibi, içi boş katotlu iyon kaplamadır ve bu, içi boş katot deşarjlı biriktirme teknolojisidir.

İçi boş katot deşarjlı kaplama prensibi hakkında: İçi boş katot deşarjlı kaplama tekniği, plazma ışını oluşturmak için sıcak bir katot deşarjı kullanır ve katot, içi boş bir tantal tüpüdür. Katot ve yardımcı anot birbirine yakındır ve ark deşarjını başlatan iki kutuptur.

İçi boş katot deşarjlı kaplama tabancası iki şekilde ateşlenir.
1. Katot tantal tüpüne yüksek frekanslı elektrik alan uygulanmasıyla, katot tantal tüpündeki argon gazı argon iyonlarına iyonlaşır ve ardından katot tantal tüpü sürekli olarak argon iyonlarıyla bombardımana tutulur; bu işlem, elektron emisyonu için gereken minimum sıcaklık standardına ulaşana ve plazma elektron demeti oluşana kadar devam eder.

2. Yardımcı anot ve katot tantal tüp arasına yaklaşık 300V DC voltaj uygulandığında, katot tantal tüp hala argon gazına maruz kalır. 1Pa-10Pa argon gazı basıncında, yardımcı anot ve katot tantal tüp arasında parıldama deşarjı olayı meydana gelir ve sürekli olarak argon iyon bombardımanı katot tantal tüpüne çarpar. Sıcaklık 2300K-2400K'ye ulaştığında, katot tantal tüpü çok sayıda elektron yayar ve "parıldama deşarjı"ndan "ark deşarjı"na dönüşür. Bu sırada voltaj 30V-60V kadar düşüktür, daha sonra katot ve anot arasına güç verildiği sürece plazma elektron demeti üretilebilir.

Katodik kaplama ekipmanı
1. Orijinal tabanca yapısını iyileştirerek, orijinal 230A olan maksimum akımı 280A'ya çıkardık.
2. Orijinal soğutma sistemi yapısı iyileştirildi; orijinal 4℃ buzlu su makinesi soğutmasından oda sıcaklığındaki soğuk su soğutmasına geçildi, böylece kullanıcılar için elektrik maliyetinden tasarruf sağlandı.
3. Orijinal mekanik aktarım yapısı iyileştirildi, manyetik akışkan aktarım yapısına geçildi, yüksek sıcaklıklarda dönen çerçeve sıkışmaz.
4. Etkin kaplama alanı 650x1100 mm olup, 750x1250x600 mm ebatlarındaki büyük kalıp ve dişli üreticilerinin ekstra uzun broşlarını rahatlıkla işleyebilir ve çok büyük hacimli üretim imkanı sunar.

İçi boş katotlu iyon kaplama makinesi esas olarak aletlerin, kalıpların, büyük ayna kalıplarının, plastik kalıpların, dişli bıçaklarının ve diğer ürünlerin kaplanmasında kullanılır.