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Qual é o princípio técnico do equipamento de revestimento duro de cátodo oco?

Fonte do artigo: Zhenhua Vacuum
Leitura: 10
Publicado em: 22-11-07

Revestimento iônico significa que os reagentes ou materiais evaporados são depositados no substrato pelo bombardeio iônico de íons gasosos ou materiais evaporados enquanto estes são dissociados ou descarregados em uma câmara de vácuo. O princípio técnico do equipamento de revestimento duro por cátodo oco é o revestimento iônico por cátodo oco, que é uma tecnologia de deposição por descarga de cátodo oco.

Sobre o princípio da deposição por descarga de cátodo oco: A técnica de deposição por descarga de cátodo oco utiliza uma descarga de cátodo quente para gerar um feixe de plasma, sendo o cátodo um tubo oco de tântalo. O cátodo e o ânodo auxiliar ficam próximos um do outro, sendo os dois polos que iniciam a descarga de arco.
Qual é o princípio técnico do tubo oco?
A pistola de deposição por descarga de cátodo oco inflama-se de duas maneiras.
1. A aplicação de um campo elétrico de alta frequência ao tubo de tântalo do cátodo provoca a ionização do gás argônio no tubo, transformando-o em íons de argônio. Em seguida, o tubo é continuamente bombardeado por esses íons, até atingir a temperatura mínima necessária para a emissão de elétrons e a geração do feixe de elétrons do plasma.

2. No tubo de tântalo auxiliar, entre o ânodo auxiliar e o cátodo, aplica-se uma tensão CC de cerca de 300 V. O tubo de tântalo do cátodo permanece imerso em gás argônio, sob uma pressão de 1 Pa a 10 Pa. Nesse ponto, ocorre o fenômeno de descarga luminescente entre o ânodo auxiliar e o cátodo, com o bombardeio constante de íons de argônio sobre o tubo de tântalo do cátodo. Até atingir uma temperatura de 2300 K a 2400 K, o tubo de tântalo do cátodo emite um grande número de elétrons, passando de "descarga luminescente" para "descarga em arco". Nesse momento, a tensão cai para 30 V a 60 V. Basta então conectar a fonte de alimentação entre o cátodo e o ânodo para gerar um feixe de elétrons de plasma.

Equipamento de revestimento catódico
1. Melhorar a estrutura original do canhão de elétrons, aumentando a corrente máxima original de 230A para 280A.
2. Melhorar a estrutura original do sistema de refrigeração, passando da refrigeração com água gelada a 4°C para refrigeração com água à temperatura ambiente, economizando energia elétrica para os usuários.
3. Melhorar a estrutura de transmissão mecânica original, alterando-a para uma estrutura de transmissão por fluido magnético, que não travará a estrutura rotativa em altas temperaturas.
4. A área de revestimento efetiva de 650 x 1100 mm pode acomodar matrizes e engrenagens superdimensionadas de 750 x 1250 x 600 mm, sendo ideal para fabricantes de brochas extralongas, com um volume muito grande.

A máquina de revestimento iônico de cátodo oco é usada principalmente na galvanoplastia de ferramentas, moldes, moldes de espelhos grandes, moldes de plástico, lâminas de fresagem e outros produtos.


Data da publicação: 07/11/2022