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Qual é o princípio técnico do equipamento de revestimento duro de catodo oco?

Fonte do artigo: Vácuo Zhenhua
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Publicado: 22-11-07

Revestimento de íons significa que os reagentes ou materiais evaporados são depositados no substrato pelo bombardeio de íons de gás ou materiais evaporados, enquanto os materiais evaporados são dissociados ou descarregados em uma câmara de vácuo.O princípio técnico do equipamento de revestimento duro de cátodo oco é o revestimento de íons de cátodo oco, que é uma tecnologia de deposição de descarga de cátodo oco.

Sobre o princípio da deposição de descarga de cátodo oco: A técnica de deposição de descarga de cátodo oco usa uma descarga de cátodo quente para gerar um feixe de plasma, e o cátodo é um tubo de tântalo oco.O cátodo e o ânodo auxiliar estão próximos um do outro, que são os dois pólos que iniciam a descarga do arco.
Qual é o princípio técnico do ca oco
A pistola de deposição de descarga de cátodo oco inflama-se de duas maneiras.
1, o uso de campo elétrico de alta frequência aplicado ao tubo de tântalo do cátodo, de modo que a ionização do gás argônio do tubo de tântalo do cátodo em íons de argônio e, em seguida, desencadeada pelo tubo de tântalo do cátodo bombardeado continuamente por íons de argônio, até que o calor aqueça até o padrão mínimo de temperatura de emissão de elétrons e gerar feixe de elétrons de plasma.

2, no ânodo auxiliar e no tubo de tântalo do cátodo entre a aplicação de cerca de 300 V DC de tensão, o tubo do cátodo de tântalo ainda passa para o gás argônio, na pressão do gás argônio 1Pa-10Pa, o fenômeno de descarga brilhante do tubo de tântalo do ânodo e cátodo auxiliar, a geração de bombardeio de íons de argônio bombardeia constantemente o tubo de tântalo do cátodo, até a temperatura de 2300K-2400K, o tubo de tântalo do cátodo emite um grande número de elétrons, será alterado de "descarga de brilho" para "descarga de arco", desta vez a tensão é tão baixo como 30V-60V, enquanto o cátodo e o ânodo entre a fonte de alimentação, você pode gerar um feixe de elétrons de plasma.

Equipamento de revestimento catódico
1、Melhore a estrutura original da pistola, da corrente máxima original de 230A a 280A.
2、Melhore a estrutura original do sistema de resfriamento, desde o resfriamento original da máquina de água gelada de 4℃ até o resfriamento da água de resfriamento à temperatura ambiente, economizando o custo de eletricidade para os usuários.
3, melhore a estrutura de transmissão mecânica original, alterada para estrutura de transmissão de fluido magnético, alta temperatura não obstruirá a estrutura rotativa.
4, a área de revestimento efetiva ¢ 650X1100, pode acomodar 750 X 1250X600 fabricantes de matrizes e engrenagens superdimensionadas de broche extralongo, com um volume muito grande.

A máquina de revestimento de íons de cátodo oco é usada principalmente no revestimento de ferramentas, moldes, moldes de espelho grande, moldes de plástico, facas de fresar e outros produtos.


Horário de postagem: 07 de novembro de 2022