Nguyên lý kỹ thuật của thiết bị phủ cứng catốt rỗng là gì?

Phủ ion nghĩa là các chất phản ứng hoặc vật liệu bay hơi được lắng đọng trên chất nền bằng cách bắn phá các ion khí hoặc vật liệu bay hơi trong khi vật liệu bay hơi bị phân ly hoặc phóng điện trong buồng chân không. Nguyên lý kỹ thuật của thiết bị phủ cứng catốt rỗng là phủ ion catốt rỗng, một công nghệ lắng đọng phóng điện catốt rỗng.

Về nguyên lý lắng đọng bằng phóng điện cực rỗng: Kỹ thuật lắng đọng bằng phóng điện cực rỗng sử dụng phóng điện cực âm nóng để tạo ra chùm plasma, và cực âm là một ống tantan rỗng. Cực âm và cực dương phụ nằm gần nhau, chúng là hai cực tạo ra hồ quang điện.

Súng bắn tia phóng điện catốt rỗng được kích hoạt theo hai cách.
1. Sử dụng điện trường tần số cao tác động lên ống tantan catốt, làm cho khí argon trong ống tantan catốt bị ion hóa thành các ion argon, sau đó kích hoạt ống tantan catốt liên tục bị bắn phá bởi các ion argon cho đến khi nhiệt độ tăng lên đến nhiệt độ tối thiểu tiêu chuẩn để phát xạ electron và tạo ra chùm electron plasma.

2. Trong ống tantalum anode và catốt phụ, khi cấp điện áp DC khoảng 300V, ống tantalum catốt vẫn được dẫn vào khí argon. Ở áp suất khí argon 1Pa-10Pa, hiện tượng phóng điện phát sáng xảy ra ở ống tantalum anode và catốt phụ, sự bắn phá của các ion argon liên tục tác động lên ống tantalum catốt, cho đến khi nhiệt độ đạt 2300K-2400K, ống tantalum catốt phát ra một lượng lớn electron, chuyển từ "phóng điện phát sáng" sang "phóng điện hồ quang". Lúc này, điện áp chỉ cần thấp khoảng 30V-60V, sau đó, chỉ cần cấp nguồn cho anode và catốt, có thể tạo ra chùm electron plasma.

Thiết bị phủ catốt
1. Cải tiến cấu trúc súng bắn điện ban đầu, nâng dòng điện tối đa từ 230A lên 280A.
2. Cải tiến cấu trúc hệ thống làm mát ban đầu, từ hệ thống làm mát bằng nước đá 4℃ sang hệ thống làm mát bằng nước ở nhiệt độ phòng, giúp tiết kiệm chi phí điện năng cho người sử dụng.
3. Cải tiến cấu trúc truyền động cơ khí ban đầu, chuyển sang cấu trúc truyền động bằng chất lỏng từ tính, nhiệt độ cao sẽ không làm kẹt khung quay.
4. Diện tích phủ hiệu quả là 650X1100, có thể chứa các nhà sản xuất khuôn và bánh răng quá khổ 750 X 1250X600 với kích thước rất lớn.

Máy mạ ion catốt rỗng chủ yếu được sử dụng trong việc mạ các dụng cụ, khuôn mẫu, khuôn gương lớn, khuôn nhựa, dao phay và các sản phẩm khác.