Қуыс катодты қатты жабын жабдықтарының техникалық принципі қандай?

Иондық жабын дегеніміз реагенттер немесе буланған материалдар газ иондарының немесе буланған материалдардың иондық бомбалауы арқылы субстратқа тұндырылады, ал буланған материалдар вакуумдық камерада диссоциацияланады немесе газ шығарылады. Қуыс катодты қатты жабын жабдықтарының техникалық принципі - қуыс катодты разрядты тұндыру технологиясы болып табылатын қуыс катодты иондық жабын.

Қуыс катодты разрядты тұндыру принципі туралы: Қуыс катодты разрядты тұндыру әдісі плазмалық сәулені генерациялау үшін ыстық катодты разрядты пайдаланады, ал катод қуыс тантал түтігі болып табылады. Катод пен қосалқы анод бір-біріне жақын орналасқан, олар доғалық разрядты тұтандыратын екі полюс.

Қуыс катодты разрядты тұндыру мылтығы екі жолмен тұтанады.
1, катодты тантал түтігіне жоғары жиілікті электр өрісі қолданылады, осылайша катодты тантал түтігі аргон газын аргон иондарына айналдырады, содан кейін катодты тантал түтігі аргон иондарымен үздіксіз бомбаланады, жылу электрон эмиссиясының минималды температурасына дейін қызғанша және плазмалық электрон сәулесін тудырғанша.

2, Көмекші анод пен катод тантал түтігіне шамамен 300 В тұрақты ток кернеуін қолдану арасында катод тантал түтігі әлі де аргон газына өтеді, 1Па-10Па аргон газының қысымында көмекші анод пен катод тантал түтігінің жарқырау разряды құбылысы пайда болады, аргон иондарының бомбалануы катод тантал түтігін үнемі бомбалайды, 2300К-2400К температураға жеткенше, катод тантал түтігі көптеген электрондарды шығарады, «жарқырау разрядынан» «доға разрядына» өзгереді, бұл жолы кернеу 30В-60В дейін төмендейді, содан кейін катод пен анод арасында қуат көзі болғанша, плазмалық электрон сәулесін жасауға болады.

Катодты жабын жабдықтары
1, бастапқы мылтық құрылымын 230А максималды ток күшін 280А-ға дейін жақсартыңыз.
2, бастапқы салқындату жүйесінің құрылымын жақсартады, бастапқы 4℃ мұзды су машинасымен салқындатудан бастап бөлме температурасындағы салқындатқыш сумен салқындатуға дейін, пайдаланушылар үшін электр энергиясының құнын үнемдейді.
3, Бастапқы механикалық беріліс құрылымын жақсартыңыз, магниттік сұйықтық беріліс құрылымына өзгертіңіз, жоғары температура айналмалы раманы кептірмейді.
4, тиімді жабын ауданы ￠ 650X1100, өте үлкен көлемдегі 750 X 1250X600 үлкен өлшемді штамптар мен тісті беріліс өндірушілерін орналастыра алады.

Қуыс катодты ионды жабын машинасы негізінен құралдарды, қалыптарды, үлкен айна қалыптарын, пластик қалыптарды, пышақтарды және басқа да өнімдерді қаптауда қолданылады.