ホローカソードハードコーティング装置の技術原理は何ですか？

イオンコーティングとは、真空チャンバー内で蒸発物質を分解またはガス放電させると同時に、ガスイオンまたは蒸発物質のイオン衝撃によって反応物質または蒸発物質を基板上に堆積させる方法です。ホローカソードハードコーティング装置の技術原理は、ホローカソードイオンコーティング、つまりホローカソード放電堆積技術です。

ホローカソード放電蒸着の原理について：ホローカソード放電蒸着法は、熱陰極放電を利用してプラズマビームを生成する技術です。陰極は中空のタンタル管です。陰極と補助陽極は互いに近接しており、この2つの極がアーク放電を点火します。

中空陰極放電蒸着ガンは 2 つの方法で点火します。
1、高周波電界を利用して陰極タンタル管に印加し、陰極タンタル管内のアルゴンガスをアルゴンイオンにイオン化し、その後、陰極タンタル管によって誘発されるアルゴンイオンの連続衝突により、熱が電子放出の最低基準温度まで温まるまで加熱し、プラズマ電子ビームを生成します。

2、補助陽極と陰極タンタル管の間に約300Vの直流電圧を加え、陰極タンタル管がアルゴンガス中に通過すると、1Pa〜10Paのアルゴンガス圧力で、補助陽極と陰極タンタル管でグロー放電現象が発生し、発生したアルゴンイオンが絶えず陰極タンタル管に衝突して、2300K〜2400Kの温度に達すると、陰極タンタル管から大量の電子が放出され、「グロー放電」から「アーク放電」に変わります。このとき電圧は30V〜60Vと低く、陰極と陽極の間に電源が供給されている限り、プラズマ電子ビームを生成できます。

陰極コーティング装置
1、元のガン構造を改良し、最大電流を元の230Aから280Aに増加しました。
2、元の冷却システム構造を改善し、元の4℃氷水機冷却から室温冷却水冷却にすることで、ユーザーの電気コストを節約します。
3、元の機械伝動構造を改良し、磁性流体伝動構造に変更し、高温で回転フレームが詰まることがなくなりました。
4、有効コーティング面積は650X1100で、750X1250X600の特大ダイとギアメーカーの超ロングブローチを収容でき、非常に大きな容積を備えています。

中空陰極イオンコーティング機は主に工具、金型、大型鏡型、プラスチック金型、ホブ刃物などの製品のメッキに使用されます。