תיאור המוצר

יתרון הציוד

1. אופטימיזציה של ציפוי חורים עמוקים

טכנולוגיית ציפוי חורים עמוקים בלעדית: טכנולוגיית ציפוי החורים העמוקים שפותחה על ידי Zhenhua Vacuum יכולה להשיג יחס גובה-רוחב מעולה של 10:1 אפילו עבור פתחים זעירים של עד 30 מיקרומטר, ובכך להתגבר על אתגרי הציפוי של מבני חורים עמוקים מורכבים.

2. ניתן להתאמה אישית, תומך בגדלים שונים

תומך במצעי זכוכית בגדלים שונים, כולל מפרטים של 600×600 מ"מ / 510×515 מ"מ ומעלה.

3. גמישות בתהליך, תואמת לחומרים מרובים

הציוד תואם לחומרי שכבה דקה מוליכים או פונקציונליים כגון Cu, Ti, W, Ni ו-Pt, ועונה על צרכים שונים של יישומים מבחינת מוליכות ועמידות בפני קורוזיה.

4. ביצועי ציוד יציבים, תחזוקה קלה

הציוד מצויד במערכת בקרה חכמה המאפשרת כוונון פרמטרים אוטומטי וניטור בזמן אמת של אחידות עובי הסרט; הוא מאמץ עיצוב מודולרי לתחזוקה קלה, תוך צמצום זמן השבתה.

בַּקָשָׁה:ניתן להשתמש בו עבור אריזות מתקדמות TGV/TSV/TMV, המסוגלות להשיג ציפוי שכבת זרעים עמוקה עם יחס גובה-רוחב של 1:10 ומעלה.