Kostir búnaðar
1. Hagnýting djúpholuhúðunar
Sérstök tækni fyrir djúpholuhúðun: Sjálfþróuð tækni Zhenhua Vacuum fyrir djúpholuhúðun getur náð framúrskarandi hlutfalli upp á 10:1, jafnvel fyrir örsmá op allt að 30 míkrómetrum, og sigrast á áskorunum sem fylgja flóknum djúpholubyggingum.
2. Sérsniðin, styður mismunandi stærðir
Styður glerundirlag af ýmsum stærðum, þar á meðal 600 × 600 mm / 510 × 515 mm eða stærri.
3. Sveigjanleiki í ferli, samhæft við margvísleg efni
Búnaðurinn er samhæfur leiðandi eða virkum þunnfilmuefnum eins og Cu, Ti, W, Ni og Pt, og uppfyllir þannig mismunandi þarfir varðandi leiðni og tæringarþol.
4. Stöðug búnaður, auðvelt viðhald
Búnaðurinn er búinn snjöllu stjórnkerfi sem gerir kleift að stilla breytur sjálfvirkt og fylgjast með þykkt filmunnar í rauntíma; hann er byggð upp með mátbúnaði sem auðveldar viðhald og dregur úr niðurtíma.
Umsókn:Hægt að nota fyrir háþróaða TGV/TSV/TMV umbúðir, sem geta náð djúpum holu fræhúðun með hlutfallslega hlutfalli ≥10:1.