Bein plasma fjölliðunarferli

Bein plasma fjölliðunarferli

Plasmafjölliðunarferlið er tiltölulega einfalt bæði fyrir innri rafskautsfjölliðunarbúnað og ytri rafskautsfjölliðunarbúnað, en val á breytum er mikilvægara í plasmafjölliðun, því breytur hafa meiri áhrif á uppbyggingu og afköst fjölliðufilma meðan á plasmafjölliðun stendur.

Aðgerðarskrefin fyrir beina plasmafjölliðun eru sem hér segir:

(1) Ryksugun

Bakgrunnslofttæmið við fjölliðun undir lofttæmi ætti að vera dælt upp í 1,3 × 10⁻⁹ Pa. Fyrir fjölliðunarviðbrögð sem krefjast sérstakra krafna um stjórnun súrefnis- eða köfnunarefnisinnihalds er bakgrunnslofttæmið enn hærra.

(2) Hleðsluviðbrögð einliða eða blandað gas af burðargasi og einliðu

Lofttæmisstigið er 13-130 Pa. Fyrir plasmafjölliðun sem krefst vinnu skal velja viðeigandi flæðistýringarham og flæðihraða, almennt 10,100 ml/mín. Í plasma eru einliðusameindir jónaðar og sundraðar með sprengjuárás öflugra agna, sem leiðir til virkra agna eins og jóna og virkra gena. Virku agnirnar sem plasma virkjar geta gengist undir plasmafjölliðun á mörkum gasfasa og fastfasa. Einliðan er uppspretta forvera plasmafjölliðunarinnar og inntakshvarfgasið og einliðan verða að hafa ákveðinn hreinleika.

(3) Val á örvunaraflgjafa

Hægt er að framleiða plasma með því að nota jafnstraums-, hátíðni-, útvarps- eða örbylgjuaflgjafa til að skapa plasmaumhverfi fyrir fjölliðun. Val á aflgjafa er ákvarðað út frá kröfum um uppbyggingu og afköst fjölliðunnar.

(4) Val á útblástursstillingu

Fyrir kröfur um fjölliður er hægt að velja tvo útskriftarmáta við plasmafjölliðun: samfellda útskrift eða púlsútskrift.

(5) Val á útblástursbreytum

Þegar plasmafjölliðun er framkvæmd þarf að taka tillit til útblástursbreytna út frá plasmabreytum, eiginleikum fjölliðunnar og uppbyggingarkröfum. Stærð beittrar orku við fjölliðun er ákvörðuð af rúmmáli lofttæmishólfsins, stærð rafskautsins, rennslishraða og uppbyggingu einliða, fjölliðunarhraða og uppbyggingu og afköstum fjölliðunnar. Til dæmis, ef rúmmál hvarfhólfsins er 1 l og RF plasmafjölliðun er notuð, verður útblástursafl á bilinu 10~30W. Við slíkar aðstæður getur plasmað sem myndast safnast saman og myndað þunna filmu á yfirborði vinnustykkisins. Vaxtarhraði plasmafjölliðunarfilmunnar er breytilegur eftir aflgjafa, gerð einliða og rennslishraða og ferlisskilyrðum. Almennt er vaxtarhraðinn 100 nm/mín~1µm/mín.

(6) Mælingar á breytum í plasmafjölliðun

Plasmabreytur og ferlisbreytur sem á að mæla í plasmafjölliðun eru meðal annars: útskriftarspenna, útskriftarstraumur, útskriftartíðni, rafeindahitastig, eðlisþyngd, gerð og styrkur hvarfhóps o.s.frv.

—— Þessi grein var gefin út af Guangdong Zhenhua Technology, aframleiðandi á ljósfræðilegum húðunarvélum.