Jóngeislaaðstoðuð útfellingartækni er jóngeislainnspýtingar- og gufuútfellingarhúðunartækni sem er sameinuð jónyfirborðssamsetningarvinnslutækni. Í yfirborðsbreytingarferli jónsprautaðra efna, hvort sem um er að ræða hálfleiðaraefni eða verkfræðiefni, er oft æskilegt að þykkt breytta lagsins sé miklu meiri en jónaígræðslunnar, en einnig er æskilegt að viðhalda kostum jónaígræðsluferlisins, svo sem að breytta lagið og undirlagið geti unnið úr vinnslustykkinu við stofuhita og svo framvegis. Þess vegna, með því að sameina jónaígræðslu og húðunartækni, eru jónir með ákveðna orku stöðugt sprautaðir inn í tengiflötinn milli filmunnar og undirlagsins á meðan húðun stendur, og tengifletirnir blandast saman með hjálp kaskadáárekstra, sem myndar atómblöndunarsvæði nálægt upphafstengingunni til að bæta tengikraftinn milli filmunnar og undirlagsins. Síðan, á atómblöndunarsvæðinu, heldur filman með nauðsynlegum þykkt og eiginleikum áfram að vaxa með þátttöku jóngeislans.
Þetta kallast jónabjálkaútfelling (IBED), sem viðheldur einkennum jónaígræðsluferlisins en gerir kleift að húða undirlagið með þunnu filmuefni sem er gjörólíkt undirlaginu.
Jóngeislaaðstoðuð útfelling hefur eftirfarandi kosti.
(1) Þar sem jónageislaútfelling myndar plasma án gaslosunar er hægt að framkvæma húðun við þrýsting <10⁻² Pa, sem dregur úr gasmengun.
(2) Grunnferlisbreyturnar (jónorka, jónþéttleiki) eru rafmagnsbreytur. Almennt þarf ekki að stjórna gasflæði og öðrum breytum sem ekki tengjast rafmagni, þú getur auðveldlega stjórnað vexti filmulagsins, aðlagað samsetningu og uppbyggingu filmunnar, sem tryggir auðveldlega endurtekningarhæfni ferlisins.
(3) Yfirborð vinnustykkisins er hægt að húða með filmu sem er gjörólík undirlaginu og þykktin er ekki takmörkuð af orku sprengijónanna við lágt hitastig (<200℃). Það hentar til yfirborðsmeðhöndlunar á efnuðum virkum filmum, kaltvinndum nákvæmnismótum og lághitaþolnu byggingarstáli.
(4) Þetta er ójafnvægisferli sem er stjórnað við stofuhita. Nýjar virknihýddir eins og háhitafasa, óstöðugir fasar, ókristölluð málmblöndur o.s.frv. er hægt að fá við stofuhita.
Ókostirnir við jónageislaaðstoðaða útfellingu eru.
(1) Þar sem jóngeislinn hefur bein geislunareiginleika er erfitt að takast á við flókin yfirborðsform vinnustykkisins.
(2) Það er erfitt að takast á við stór og stór vinnustykki vegna takmarkana á stærð jóngeislastraumsins.
(3) Útfellingarhraðinn með jóngeisla er venjulega um 1 nm/s, sem hentar vel til að búa til þunnfilmulög en hentar ekki til að húða mikið magn af vörum.
–Þessi grein er gefin út afframleiðandi tómarúmhúðunarvélaGuangdong Zhenhua
Birtingartími: 16. nóvember 2023