Սարքավորումների առավելություն
1. Խորը անցքերի ծածկույթի օպտիմալացում
Բացառիկ խորը անցքերի ծածկույթի տեխնոլոգիա. Zhenhua Vacuum-ի ինքնուրույն մշակած խորը անցքերի ծածկույթի տեխնոլոգիան կարող է հասնել 10:1 գերազանց կողմերի հարաբերակցության նույնիսկ 30 միկրոմետր չափի փոքրիկ անցքերի համար՝ հաղթահարելով բարդ խորը անցքերի կառուցվածքների ծածկույթի մարտահրավերները:
2. Կարգավորելի, աջակցում է տարբեր չափերի
Աջակցում է տարբեր չափերի ապակե հիմքերի, այդ թվում՝ 600×600 մմ / 510×515 մմ կամ ավելի մեծ չափերի։
3. Գործընթացի ճկունություն, համատեղելի է բազմաթիվ նյութերի հետ
Սարքավորումը համատեղելի է հաղորդիչ կամ ֆունկցիոնալ բարակ թաղանթային նյութերի հետ, ինչպիսիք են Cu, Ti, W, Ni և Pt-ն, բավարարելով հաղորդականության և կոռոզիոն դիմադրության տարբեր կիրառական կարիքները։
4. Կայուն սարքավորումների աշխատանք, հեշտ սպասարկում
Սարքավորումը հագեցած է ինտելեկտուալ կառավարման համակարգով, որը հնարավորություն է տալիս ավտոմատ կերպով կարգավորել պարամետրերը և իրական ժամանակում վերահսկել թաղանթի հաստության միատարրությունը։ Այն ունի մոդուլային դիզայն՝ հեշտ սպասարկման համար, որը կրճատում է աշխատանքի ընդհատման ժամանակը։
Դիմում.Կարող է օգտագործվել TGV/TSV/TMV առաջադեմ փաթեթավորման համար, որը կարող է ապահովել խորը անցքերի սերմերի շերտի ծածկույթ ≥10:1 կողմերի հարաբերակցությամբ։