Պլազմային ուղղակի պոլիմերացման գործընթաց

Պլազմային ուղղակի պոլիմերացման գործընթաց

Պլազմային պոլիմերացման գործընթացը համեմատաբար պարզ է թե՛ ներքին էլեկտրոդային պոլիմերացման սարքավորումների, թե՛ արտաքին էլեկտրոդային պոլիմերացման սարքավորումների համար, սակայն պարամետրերի ընտրությունն ավելի կարևոր է պլազմային պոլիմերացման դեպքում, քանի որ պարամետրերն ավելի մեծ ազդեցություն ունեն պոլիմերային թաղանթների կառուցվածքի և կատարողականի վրա պլազմային պոլիմերացման ընթացքում։

Պլազմային ուղղակի պոլիմերացման գործողությունների քայլերը հետևյալն են.

(1) Փոշեկուլով մաքրում

Վակուումային պայմաններում պոլիմերացման ֆոնային վակուումը պետք է մղվի մինչև 1.3×10-1Pa: Պոլիմերացման ռեակցիաների համար, որոնք պահանջում են թթվածնի կամ ազոտի պարունակության կարգավորման հատուկ պահանջներ, ֆոնային վակուումի պահանջը նույնիսկ ավելի բարձր է:

(2) Լիցքային ռեակցիայի մոնոմեր կամ կրող գազի և մոնոմերի խառը գազ

Վակուումի աստիճանը 13-130 Պա է: Պլազմային պոլիմերացման համար աշխատանք պահանջող դեպքում պետք է ընտրվի համապատասխան հոսքի կառավարման ռեժիմ և հոսքի արագություն, որը սովորաբար կազմում է 10.100 մլ/րոպե: Պլազմայում մոնոմերային մոլեկուլները իոնացվում և դիսոցացվում են էներգետիկ մասնիկների ռմբակոծության միջոցով, ինչի արդյունքում առաջանում են ակտիվ մասնիկներ, ինչպիսիք են իոնները և ակտիվ գեները: Պլազմայի կողմից ակտիվացված ակտիվ մասնիկները կարող են ենթարկվել պլազմային պոլիմերացման գազային և պինդ փուլերի միջերեսում: Մոնոմերը պլազմային պոլիմերացման նախորդ նյութի աղբյուրն է, և մուտքային ռեակցիայի գազը և մոնոմերը պետք է ունենան որոշակի մաքրություն:

(3) Գրգռման էլեկտրամատակարարման ընտրություն

Պլազման կարող է ստեղծվել հաստատուն հոսանքի, բարձր հաճախականության, ռադիոհաճախականության կամ միկրոալիքային էներգիայի աղբյուրների միջոցով՝ պոլիմերացման համար պլազմային միջավայր ապահովելու համար: Էլեկտրամատակարարման ընտրությունը որոշվում է պոլիմերի կառուցվածքի և կատարողականության պահանջների հիման վրա:

(4) Լիցքաթափման ռեժիմի ընտրություն

Պոլիմերի պահանջների համար, պլազմային պոլիմերացումը կարող է ընտրել երկու լիցքաթափման ռեժիմ՝ անընդհատ լիցքաթափում կամ իմպուլսային լիցքաթափում:

(5) Արտանետման պարամետրերի ընտրություն

Պլազմային պոլիմերացում իրականացնելիս անհրաժեշտ է հաշվի առնել պլազմային պարամետրերի, պոլիմերի հատկությունների և կառուցվածքի պահանջների լիցքաթափման պարամետրերը: Պոլիմերացման ընթացքում կիրառվող հզորության մեծությունը որոշվում է վակուումային խցիկի ծավալով, էլեկտրոդի չափսով, մոնոմերի հոսքի արագությամբ և կառուցվածքով, պոլիմերացման արագությամբ, ինչպես նաև պոլիմերի կառուցվածքով և կատարողականությամբ: Օրինակ, եթե ռեակցիայի խցիկի ծավալը 1 լիտր է և կիրառվում է RF պլազմային պոլիմերացումը, լիցքաթափման հզորությունը կլինի 10~30 Վտ միջակայքում: Նման պայմաններում առաջացած պլազման կարող է ագրեգացվել՝ ձևավորելով բարակ թաղանթ աշխատանքային մասի մակերեսին: Պլազմային պոլիմերացման թաղանթի աճի տեմպը տատանվում է էլեկտրամատակարարման, մոնոմերի տեսակի և հոսքի արագության, ինչպես նաև գործընթացի պայմաններից կախված: Ընդհանուր առմամբ, աճի տեմպը կազմում է 100 նմ/րոպե~1 մկմ/րոպե:

(6) Պլազմային պոլիմերացման պարամետրերի չափում

Պլազմային պոլիմերացման ժամանակ չափվող պլազմային և գործընթացային պարամետրերն են՝ լիցքաթափման լարումը, լիցքաթափման հոսանքը, լիցքաթափման հաճախականությունը, էլեկտրոնի ջերմաստիճանը, խտությունը, ռեակցիոն խմբի տեսակը և կոնցենտրացիան և այլն:

——Այս հոդվածը հրապարակվել է Guangdong Zhenhua Technology-ի կողմից, որըօպտիկական ծածկույթների մեքենաների արտադրող.