TERMÉKLEÍRÁS

Felszerelés előnye

1. Mélyfurat-bevonat optimalizálása

Exkluzív mélyfurat-bevonatolási technológia: A Zhenhua Vacuum saját fejlesztésű mélyfurat-bevonatolási technológiája még a mindössze 30 mikrométeres apró nyílások esetén is kiváló, 10:1-es képarányt képes elérni, leküzdve ezzel a komplex mélyfurat-szerkezetek bevonatolási kihívásait.

2. Testreszabható, különböző méreteket támogat

Különböző méretű üvegfelületeket támogat, beleértve a 600×600 mm / 510×515 mm vagy nagyobb méreteket is.

3. Folyamatrugalmasság, többféle anyaggal kompatibilis

A berendezés kompatibilis vezetőképes vagy funkcionális vékonyréteg-anyagokkal, például Cu, Ti, W, Ni és Pt-vel, így kielégíti a vezetőképesség és a korrózióállóság iránti különböző alkalmazási igényeket.

4. Stabil berendezésteljesítmény, egyszerű karbantartás

A berendezés intelligens vezérlőrendszerrel van felszerelve, amely lehetővé teszi az automatikus paraméterbeállítást és a fóliavastagság egyenletességének valós idejű ellenőrzését; moduláris felépítésű a könnyű karbantartás és az állásidő csökkentése érdekében.

Alkalmazás:Használható TGV/TSV/TMV fejlett csomagoláshoz, képes mély furatú vetőréteg bevonat elérésére ≥10:1 oldalaránnyal.