Plazma direkt polimerizációs folyamat
A plazmapolimerizáció folyamata viszonylag egyszerű mind a belső, mind a külső elektródás polimerizációs berendezések esetében, de a paraméterek megválasztása fontosabb a plazmapolimerizációban, mivel a paraméterek nagyobb hatással vannak a polimer filmek szerkezetére és teljesítményére a plazmapolimerizáció során.
A közvetlen plazmapolimerizáció műveleti lépései a következők:
(1) Porszívózás
Vákuumkörülmények között a polimerizáció háttérvákuumját 1,3×10⁻⁸Pa-ra kell pumpálni. Azoknál a polimerizációs reakcióknál, amelyek speciális követelményeket igényelnek az oxigén- vagy nitrogéntartalom szabályozása érdekében, a háttérvákuumra vonatkozó követelmény még magasabb.
(2) Töltési reakciómonomer vagy vivőgáz és monomer keverékgáza
A vákuum foka 13-130 Pa. A plazma polimerizációhoz megfelelő áramlásszabályozási módot és áramlási sebességet kell választani, általában 10-100 ml/perc. A plazmában a monomer molekulák ionizálódnak és disszociálnak energetikai részecskék bombázásával, ami aktív részecskéket, például ionokat és aktív géneket eredményez. A plazma által aktivált aktív részecskék plazma polimerizáción mehetnek keresztül a gázfázis és a szilárd fázis határfelületén. A monomer a plazma polimerizáció prekurzorának forrása, és a bemeneti reakciógáznak és a monomernek bizonyos tisztasággal kell rendelkeznie.
(3) A gerjesztő tápegység kiválasztása
A plazma előállítható egyenáramú, nagyfrekvenciás, rádiófrekvenciás vagy mikrohullámú energiaforrásokkal, hogy plazmakörnyezetet biztosítson a polimerizációhoz. A tápegység kiválasztása a polimer szerkezetére és teljesítményére vonatkozó követelmények alapján történik.
(4) A kisütési mód kiválasztása
Polimer igények kielégítésére a plazma polimerizáció kétféle kisülési módot választhat: folyamatos kisülést vagy impulzusos kisülést.
(5) A kisülési paraméterek kiválasztása
Plazmapolimerizáció végrehajtásakor a kisülési paramétereket a plazma paraméterei, a polimer tulajdonságai és a szerkezeti követelmények alapján kell figyelembe venni. A polimerizáció során alkalmazott teljesítmény nagyságát a vákuumkamra térfogata, az elektróda mérete, a monomer áramlási sebessége és szerkezete, a polimerizációs sebesség, valamint a polimer szerkezete és teljesítménye határozza meg. Például, ha a reakciókamra térfogata 1 liter, és RF plazmapolimerizációt alkalmaznak, a kisülési teljesítmény 10~30 W tartományban lesz. Ilyen körülmények között a keletkezett plazma vékony filmet képezhet a munkadarab felületén. A plazmapolimerizációs film növekedési sebessége a tápegységtől, a monomer típusától és áramlási sebességétől, valamint a folyamat körülményeitől függően változik. Általában a növekedési sebesség 100 nm/perc~1 µm/perc.
(6) Paraméterek mérése plazmapolimerizációban
A plazmapolimerizáció során mérendő plazmaparaméterek és folyamatparaméterek a következők: kisülési feszültség, kisülési áram, kisülési frekvencia, elektronhőmérséklet, sűrűség, reakciócsoport típusa és koncentrációja stb.
——Ezt a cikket a Guangdong Zhenhua Technology, egy… tette közzéoptikai bevonó gépek gyártója.
Közzététel ideje: 2023. május 5.