Teknoloji depozisyon ak asistans gwo bout bwa iyon se teknoloji kouch ak enjeksyon gwo bout bwa iyon ak depozisyon vapè konbine avèk teknoloji pwosesis konpoze sifas iyon. Nan pwosesis modifikasyon sifas materyèl ki enjekte ak iyon, kit se materyèl semi-kondiktè oswa materyèl enjenyè, souvan yo vle pou epesè kouch modifye a pi gran pase epesè enplantasyon iyon an, men yo vle tou kenbe avantaj pwosesis enjeksyon iyon an, tankou kouch modifye a ak substra a ki ant koòdone byen file a, pou yo ka trete pyès la nan tanperati chanm, elatriye. Se poutèt sa, lè yo konbine enplantasyon iyon ak teknoloji kouch, iyon ki gen yon sèten enèji yo enjekte kontinyèlman nan koòdone ant fim nan ak substra a pandan y ap kouvri, epi atòm entèfasyal yo melanje avèk èd kolizyon kaskad, fòme yon zòn tranzisyon melanj atòm toupre koòdone inisyal la pou amelyore fòs lyezon ant fim nan ak substra a. Apre sa, sou zòn melanj atòm nan, fim nan ki gen epesè ak pwopriyete ki nesesè yo kontinye grandi avèk patisipasyon gwo bout bwa iyon an.
Sa a rele Depozisyon Asiste pa Fasò Ion (IBED), ki konsève karakteristik pwosesis enplantasyon ion an pandan y ap pèmèt substrat la dwe kouvri ak yon materyèl fim mens ki konplètman diferan de substrat la.
Depozisyon ak asistans gwo bout bwa iyon gen avantaj sa yo.
(1) Piske depozisyon ak asistans gwo bout bwa iyon jenere plasma san egzeyat gaz, kouch la ka fèt nan yon presyon <10-2 Pa, sa ki diminye kontaminasyon gaz la.
(2) Paramèt debaz pwosesis yo (enèji iyon, dansite iyon) se elektrik. Anjeneral, ou pa bezwen kontwole koule gaz la ak lòt paramèt ki pa elektrik, ou ka fasilman kontwole kwasans kouch fim nan, ajiste konpozisyon ak estrikti fim nan, fasil pou asire repetabilite pwosesis la.
(3) Sifas pyès la ka kouvri ak yon fim ki konplètman diferan de substra a epi epesè a pa limite pa enèji iyon bonbadman yo nan tanperati ki ba (<200℃). Li apwopriye pou tretman sifas fim fonksyonèl dope, mwazi presizyon ki fèt a frèt ak asye estriktirèl ki trete a ba tanperati.
(4) Li se yon pwosesis ki pa an ekilib ki kontwole nan tanperati chanm. Nouvo fim fonksyonèl tankou faz ki nan tanperati ki wo, faz sibstab, alyaj amorf, elatriye ka jwenn nan tanperati chanm.
Dezavantaj depozisyon asisté pa gwo bout bwa iyon yo se.
(1) Paske gwo bout bwa iyon an gen karakteristik radyasyon dirèk, li difisil pou jere fòm sifas konplèks pyès travay la.
(2) Li difisil pou travay ak pyès ki gen gwo echèl ak gwo sifas akòz limitasyon gwosè kouran gwo bout bwa iyon an.
(3) Vitès depo ak asistans gwo bout bwa iyon an anjeneral alantou 1nm/s, ki apwopriye pou preparasyon kouch fim mens, epi li pa apwopriye pou plake gwo kantite pwodwi.
–Atik sa a pibliye pamanifakti machin kouch vakyòmGuangdong Zhenhua
Dat piblikasyon: 16 novanm 2023