OPIS PROIZVODA

Prednost opreme

1. Optimizacija premaza dubokih rupa

Ekskluzivna tehnologija premazivanja dubokih rupa: Zhenhua Vacuumova tehnologija premazivanja dubokih rupa, koju je samostalno razvila, može postići vrhunski omjer stranica od 10:1 čak i za sitne otvore veličine samo 30 mikrometara, prevladavajući izazove premazivanja složenih struktura dubokih rupa.

2. Prilagodljivo, podržava različite veličine

Podržava staklene podloge različitih veličina, uključujući specifikacije 600 × 600 mm / 510 × 515 mm ili veće.

3. Fleksibilnost procesa, kompatibilnost s više materijala

Oprema je kompatibilna s vodljivim ili funkcionalnim tankoslojnim materijalima kao što su Cu, Ti, W, Ni i Pt, zadovoljavajući različite potrebe primjene za vodljivošću i otpornošću na koroziju.

4. Stabilne performanse opreme, jednostavno održavanje

Oprema je opremljena inteligentnim upravljačkim sustavom koji omogućuje automatsko podešavanje parametara i praćenje ujednačenosti debljine filma u stvarnom vremenu; usvaja modularni dizajn za jednostavno održavanje, smanjujući vrijeme zastoja.

Primjena:Može se koristiti za napredno pakiranje TGV/TSV/TMV, sposobno za postizanje premaza slojem sjemena dubokog udubljenja s omjerom stranica ≥10:1.