Postupak direktne polimerizacije plazmom
Proces plazma polimerizacije je relativno jednostavan i za opremu za polimerizaciju s unutarnjom elektrodom i za opremu za polimerizaciju s vanjskom elektrodom, ali odabir parametara je važniji kod plazma polimerizacije, jer parametri imaju veći utjecaj na strukturu i performanse polimernih filmova tijekom plazma polimerizacije.
Koraci operacije za izravnu plazma polimerizaciju su sljedeći:
(1) Usisavanje
Pozadinski vakuum polimerizacije u vakuumskim uvjetima treba pumpati do 1,3 × 10⁻¹ Pa. Za reakcije polimerizacije koje zahtijevaju posebne uvjete za kontrolu sadržaja kisika ili dušika, zahtjev za pozadinskim vakuumom je još veći.
(2) Reakcija punjenja monomera ili mješavine plina nosača i monomera
Stupanj vakuuma je 13-130 Pa. Za plazma polimerizaciju koja zahtijeva rad, treba odabrati odgovarajući način kontrole protoka i brzinu protoka, općenito 10-100 mL/min. U plazmi se molekule monomera ioniziraju i disociraju bombardiranjem energetskih čestica, što rezultira aktivnim česticama poput iona i aktivnih gena. Aktivne čestice aktivirane plazmom mogu se podvrgnuti plazma polimerizaciji na granici plinovite i čvrste faze. Monomer je izvor prekursora za plazma polimerizaciju, a ulazni reakcijski plin i monomer moraju imati određenu čistoću.
(3) Odabir napajanja pobude
Plazma se može generirati korištenjem istosmjernih, visokofrekventnih, RF ili mikrovalnih izvora energije kako bi se osiguralo plazma okruženje za polimerizaciju. Odabir izvora energije određuje se na temelju zahtjeva za strukturu i performanse polimera.
(4) Odabir načina pražnjenja
Za potrebe polimera, plazma polimerizacija može odabrati dva načina pražnjenja: kontinuirano pražnjenje ili pulsno pražnjenje.
(5) Odabir parametara pražnjenja
Prilikom provođenja plazma polimerizacije, parametre pražnjenja treba uzeti u obzir na temelju parametara plazme, svojstava polimera i zahtjeva za strukturom. Veličina primijenjene snage tijekom polimerizacije određena je volumenom vakuumske komore, veličinom elektrode, brzinom protoka i strukturom monomera, brzinom polimerizacije te strukturom i performansama polimera. Na primjer, ako je volumen reakcijske komore 1 L i koristi se RF plazma polimerizacija, snaga pražnjenja bit će u rasponu od 10~30 W. U takvim uvjetima, generirana plazma može se agregirati i formirati tanki film na površini obratka. Brzina rasta filma plazma polimerizacije varira ovisno o napajanju, vrsti i brzini protoka monomera te uvjetima procesa. Općenito, brzina rasta je 100 nm/min~1 μm/min.
(6) Mjerenje parametara u plazma polimerizaciji
Parametri plazme i procesni parametri koji se mjere u plazma polimerizaciji uključuju: napon pražnjenja, struju pražnjenja, frekvenciju pražnjenja, temperaturu elektrona, gustoću, vrstu i koncentraciju reakcijske skupine itd.
——Ovaj članak je objavio Guangdong Zhenhua Technology,proizvođač strojeva za optičke premaze.
Vrijeme objave: 05.05.2023.