Tehnologija nanošenja uz pomoć ionskog snopa je tehnologija prevlačenja injektiranjem ionskog snopa i nanošenjem pare u kombinaciji s tehnologijom obrade površinskih kompozita ionima. U procesu modifikacije površine materijala ubrizganih ionima, bilo da se radi o poluvodičkim materijalima ili inženjerskim materijalima, često se želi da debljina modificiranog sloja bude znatno veća od debljine ionske implantacije, ali se također žele zadržati prednosti procesa injektiranja iona, kao što je mogućnost obrade obratka na sobnoj temperaturi između modificiranog sloja i podloge, i tako dalje. Stoga se kombiniranjem ionske implantacije s tehnologijom prevlačenja, ioni određene energije kontinuirano ubrizgavaju u površinu između filma i podloge tijekom prevlačenja, a atomi na površini se miješaju uz pomoć kaskadnih sudara, formirajući prijelaznu zonu miješanja atoma u blizini početne površine kako bi se poboljšala sila veze između filma i podloge. Zatim, u zoni miješanja atoma, film s potrebnom debljinom i svojstvima nastavlja rasti sudjelovanjem ionskog snopa.
To se naziva taloženje potpomognuto ionskim snopom (IBED), koje zadržava karakteristike procesa ionske implantacije, a istovremeno omogućuje prekrivanje podloge tankim filmom materijala koji je potpuno drugačiji od podloge.
Taloženje uz pomoć ionskog snopa ima sljedeće prednosti.
(1) Budući da taloženje uz pomoć ionskog snopa generira plazmu bez plinskog pražnjenja, nanošenje premaza može se izvesti pri tlaku <10-2 Pa, smanjujući onečišćenje plinom.
(2) Osnovni parametri procesa (energija iona, gustoća iona) su električni. Općenito nije potrebno kontrolirati protok plina i druge neelektrične parametre, lako se može kontrolirati rast sloja filma, prilagoditi sastav i struktura filma, lako se osigurava ponovljivost procesa.
(3) Površina obratka može se prekriti filmom koji je potpuno drugačiji od podloge, a debljina nije ograničena energijom bombardiranja iona na niskoj temperaturi (<200℃). Pogodan je za površinsku obradu dopiranih funkcionalnih filmova, hladno obrađenih preciznih kalupa i konstrukcijskog čelika kaljenog na niskim temperaturama.
(4) To je neravnotežni proces kontroliran na sobnoj temperaturi. Novi funkcionalni filmovi poput visokotemperaturnih faza, substabilnih faza, amorfnih legura itd. mogu se dobiti na sobnoj temperaturi.
Nedostaci taloženja potpomognutog ionskim snopom su.
(1) Budući da ionski snop ima karakteristike izravnog zračenja, teško je obraditi složene oblike površine obratka.
(2) Teško je obrađivati velike i površinske obratke zbog ograničenja veličine toka ionskog snopa.
(3) Brzina taloženja uz pomoć ionskog snopa obično je oko 1 nm/s, što je prikladno za pripremu tankih slojeva filma, a nije prikladno za prevlačenje velikih količina proizvoda.
–Ovaj članak objavljujeproizvođač strojeva za vakuumsko premazivanjeGuangdong Zhenhua
Vrijeme objave: 16. studenog 2023.