उपकरण लाभ
1. डीप होल कोटिंग अनुकूलन
विशिष्ट डीप होल कोटिंग प्रौद्योगिकी: झेनहुआ वैक्यूम की स्वयं-विकसित डीप होल कोटिंग प्रौद्योगिकी, 30 माइक्रोमीटर जैसे छोटे छिद्रों के लिए भी 10:1 का उत्कृष्ट आस्पेक्ट अनुपात प्राप्त कर सकती है, तथा जटिल डीप होल संरचनाओं की कोटिंग चुनौतियों पर काबू पा सकती है।
2. अनुकूलन योग्य, विभिन्न आकारों का समर्थन करता है
600×600 मिमी / 510×515 मिमी या उससे बड़े विनिर्देशों सहित विभिन्न आकारों के ग्लास सबस्ट्रेट्स का समर्थन करता है।
3. प्रक्रिया लचीलापन, कई सामग्रियों के साथ संगत
यह उपकरण चालकता या कार्यात्मक पतली फिल्म सामग्री जैसे Cu, Ti, W, Ni, और Pt के साथ संगत है, जो चालकता और संक्षारण प्रतिरोध के लिए विभिन्न अनुप्रयोग आवश्यकताओं को पूरा करता है।
4. स्थिर उपकरण प्रदर्शन, आसान रखरखाव
यह उपकरण एक बुद्धिमान नियंत्रण प्रणाली से सुसज्जित है जो स्वचालित पैरामीटर समायोजन और फिल्म मोटाई की एकरूपता की वास्तविक समय निगरानी को सक्षम बनाता है; यह आसान रखरखाव के लिए एक मॉड्यूलर डिजाइन को अपनाता है, जिससे डाउनटाइम कम हो जाता है।
आवेदन पत्र:इसका उपयोग टी.जी.वी./टी.एस.वी./टी.एम.वी. उन्नत पैकेजिंग के लिए किया जा सकता है, जो ≥10:1 के पहलू अनुपात के साथ गहरे छेद वाले बीज परत कोटिंग को प्राप्त करने में सक्षम है।