प्लाज्मा प्रत्यक्ष बहुलकीकरण प्रक्रिया

प्लाज्मा प्रत्यक्ष बहुलकीकरण प्रक्रिया

प्लाज्मा पोलीमराइजेशन की प्रक्रिया आंतरिक इलेक्ट्रोड पोलीमराइजेशन उपकरण और बाहरी इलेक्ट्रोड पोलीमराइजेशन उपकरण दोनों के लिए अपेक्षाकृत सरल है, लेकिन प्लाज्मा पोलीमराइजेशन में पैरामीटर चयन अधिक महत्वपूर्ण है, क्योंकि प्लाज्मा पोलीमराइजेशन के दौरान पैरामीटर का पॉलिमर फिल्मों की संरचना और प्रदर्शन पर अधिक प्रभाव पड़ता है।

प्रत्यक्ष प्लाज़्मा पोलीमराइजेशन के लिए संचालन चरण निम्नानुसार हैं:

(1) वैक्यूमिंग

वैक्यूम स्थितियों के तहत बहुलकीकरण की पृष्ठभूमि वैक्यूम को 1.3×10-1Pa तक पंप किया जाना चाहिए। बहुलकीकरण प्रतिक्रियाओं के लिए जिन्हें ऑक्सीजन या नाइट्रोजन सामग्री को नियंत्रित करने के लिए विशेष आवश्यकताओं की आवश्यकता होती है, पृष्ठभूमि वैक्यूम की आवश्यकता और भी अधिक होती है।

(2) चार्ज रिएक्शन मोनोमर या वाहक गैस और मोनोमर की मिश्रित गैस

वैक्यूम डिग्री 13-130Pa है। प्लाज्मा पोलीमराइजेशन के लिए काम की आवश्यकता होती है, उचित प्रवाह नियंत्रण मोड और प्रवाह दर का चयन किया जाना चाहिए, आम तौर पर 10.100mL/min। प्लाज्मा में, मोनोमर अणु ऊर्जावान कणों की बमबारी से आयनित और विघटित होते हैं, जिसके परिणामस्वरूप आयन और सक्रिय जीन जैसे सक्रिय कण बनते हैं। प्लाज्मा द्वारा सक्रिय किए गए सक्रिय कण गैस चरण और ठोस चरण के इंटरफेस पर प्लाज्मा पोलीमराइजेशन से गुजर सकते हैं। मोनोमर प्लाज्मा पोलीमराइजेशन के लिए अग्रदूत का स्रोत है, और इनपुट प्रतिक्रिया गैस और मोनोमर में निश्चित शुद्धता होनी चाहिए।

(3) उत्तेजना विद्युत आपूर्ति का चयन

प्लाज्मा को बहुलकीकरण के लिए प्लाज्मा वातावरण प्रदान करने के लिए डीसी, उच्च आवृत्ति, आरएफ, या माइक्रोवेव पावर स्रोतों का उपयोग करके उत्पन्न किया जा सकता है। बिजली आपूर्ति का चयन बहुलक की संरचना और प्रदर्शन की आवश्यकताओं के आधार पर निर्धारित किया जाता है।

(4) डिस्चार्ज मोड का चयन

बहुलक आवश्यकताओं के लिए, प्लाज्मा बहुलकीकरण दो निर्वहन मोड चुन सकता है: निरंतर निर्वहन या पल्स निर्वहन।

(5) डिस्चार्ज मापदंडों का चयन

प्लाज्मा पोलीमराइजेशन करते समय, डिस्चार्ज मापदंडों को प्लाज्मा मापदंडों, पॉलिमर गुणों और संरचना आवश्यकताओं से विचार करने की आवश्यकता होती है। पोलीमराइजेशन के दौरान लागू शक्ति का परिमाण वैक्यूम चैंबर की मात्रा, इलेक्ट्रोड आकार, मोनोमर प्रवाह दर और संरचना, पोलीमराइजेशन दर और पॉलिमर संरचना और प्रदर्शन द्वारा निर्धारित किया जाता है। उदाहरण के लिए, यदि प्रतिक्रिया कक्ष की मात्रा 1L है और RF प्लाज्मा पोलीमराइजेशन को अपनाया जाता है, तो डिस्चार्ज पावर 10 ~ 30W की सीमा में होगी। ऐसी स्थितियों के तहत, उत्पन्न प्लाज्मा वर्कपीस की सतह पर एक पतली फिल्म बनाने के लिए एकत्र हो सकता है। प्लाज्मा पोलीमराइजेशन फिल्म की वृद्धि दर बिजली की आपूर्ति, मोनोमर प्रकार और प्रवाह दर और प्रक्रिया की स्थितियों के साथ बदलती रहती है। आम तौर पर, वृद्धि दर 100nm/min ~ 1um/min होती है।

(6) प्लाज्मा पोलीमराइजेशन में पैरामीटर माप

प्लाज्मा पोलीमराइजेशन में मापे जाने वाले प्लाज्मा पैरामीटर और प्रक्रिया पैरामीटर में शामिल हैं: डिस्चार्ज वोल्टेज, डिस्चार्ज करंट, डिस्चार्ज आवृत्ति, इलेक्ट्रॉन तापमान, घनत्व, प्रतिक्रिया समूह प्रकार और एकाग्रता, आदि।

——यह लेख गुआंग्डोंग झेनहुआ ​​टेक्नोलॉजी द्वारा जारी किया गया था,ऑप्टिकल कोटिंग मशीनों के निर्माता.