Hoʻohana nā lako hana uhi ʻōwili i ka ʻōwili hoʻokolohua i ka ʻenehana uhi e hoʻohui ana i ka magnetron sputtering a me ka cathode arc, kahi e hoʻokō ai i nā koi o ka compactness film a me ka wikiwiki ionization kiʻekiʻe. He ʻano kū pololei nā lako, a ua hoʻokomo pololei ʻia ka ʻōnaehana wili workpiece i loko o ke keʻena vacuum. Hoʻolālā puka lumi he nui, ua hoʻokomo ʻia ka cathode ma ka puka ʻaoʻao, ʻeono mau set o nā kumu cathode a i ʻole nā kumu ion hiki ke hoʻokomo ʻia, a hiki ke mālama ʻia a hoʻololi ʻia paha ka pahuhopu ke wehe ʻia ka puka. Hiki i nā lako ke hana i ka mālama ʻana i ka ʻili o ka workpiece a me ka uhi multi-layer i ka manawa hoʻokahi e hoʻokō ai i ka waiho ʻana o ka kiʻiʻoniʻoni multi-layer. Kūpono no nā mea uhi metala a hui pū ʻia paha.
Loaʻa i nā lako nā ʻano o ke ʻano nani, ka hoʻonohonoho liʻiliʻi, ka papahele liʻiliʻi, ke kiʻekiʻe o ka automation, ka hana maʻalahi a maʻalahi hoʻi, ka hana paʻa a me ka mālama maʻalahi. He kūpono loa ia no ka hoʻohana ʻana i nā keʻena hoʻokolohua a me nā koleke. Hiki i nā mea kūʻai ke koho e like me kā lākou mau pono like ʻole.
| Nā kumu hoʻohālike koho | Ka nui o ka lako (ka laulā) |
| RCW300 | 300mm |