પ્લાઝ્મા ડાયરેક્ટ પોલિમરાઇઝેશન પ્રક્રિયા

પ્લાઝ્મા ડાયરેક્ટ પોલિમરાઇઝેશન પ્રક્રિયા

આંતરિક ઇલેક્ટ્રોડ પોલિમરાઇઝેશન સાધનો અને બાહ્ય ઇલેક્ટ્રોડ પોલિમરાઇઝેશન સાધનો બંને માટે પ્લાઝ્મા પોલિમરાઇઝેશનની પ્રક્રિયા પ્રમાણમાં સરળ છે, પરંતુ પ્લાઝ્મા પોલિમરાઇઝેશનમાં પરિમાણ પસંદગી વધુ મહત્વપૂર્ણ છે, કારણ કે પ્લાઝ્મા પોલિમરાઇઝેશન દરમિયાન પરિમાણો પોલિમર ફિલ્મોની રચના અને કામગીરી પર વધુ અસર કરે છે.

ડાયરેક્ટ પ્લાઝ્મા પોલિમરાઇઝેશન માટેના ઓપરેશન પગલાં નીચે મુજબ છે:

(૧) વેક્યુમિંગ

શૂન્યાવકાશની સ્થિતિમાં પોલિમરાઇઝેશનના પૃષ્ઠભૂમિ શૂન્યાવકાશને 1.3×10-1Pa સુધી પમ્પ કરવું જોઈએ. પોલિમરાઇઝેશન પ્રતિક્રિયાઓ માટે જેને ઓક્સિજન અથવા નાઇટ્રોજન સામગ્રીને નિયંત્રિત કરવા માટે ખાસ આવશ્યકતાઓની જરૂર હોય છે, પૃષ્ઠભૂમિ શૂન્યાવકાશની આવશ્યકતા વધુ હોય છે.

(2) ચાર્જ રિએક્શન મોનોમર અથવા વાહક ગેસ અને મોનોમરનો મિશ્ર ગેસ

શૂન્યાવકાશ ડિગ્રી 13-130Pa છે. પ્લાઝ્મા પોલિમરાઇઝેશન માટે કામની જરૂર હોય, તો યોગ્ય પ્રવાહ નિયંત્રણ મોડ અને પ્રવાહ દર પસંદ કરવો જોઈએ, સામાન્ય રીતે 10.100mL/મિનિટ. પ્લાઝ્મામાં, મોનોમર પરમાણુઓ ઊર્જાસભર કણોના બોમ્બમારા દ્વારા આયનાઇઝ્ડ અને વિઘટિત થાય છે, જેના પરિણામે આયનો અને સક્રિય જનીનો જેવા સક્રિય કણો બને છે. પ્લાઝ્મા દ્વારા સક્રિય થયેલા સક્રિય કણો ગેસ ફેઝ અને સોલિડ ફેઝના ઇન્ટરફેસ પર પ્લાઝ્મા પોલિમરાઇઝેશનમાંથી પસાર થઈ શકે છે. મોનોમર પ્લાઝ્મા પોલિમરાઇઝેશન માટે પુરોગામીનો સ્ત્રોત છે, અને ઇનપુટ પ્રતિક્રિયા ગેસ અને મોનોમર ચોક્કસ શુદ્ધતા ધરાવતા હોવા જોઈએ.

(3) ઉત્તેજના પાવર સપ્લાયની પસંદગી

પોલિમરાઇઝેશન માટે પ્લાઝ્મા વાતાવરણ પૂરું પાડવા માટે ડીસી, હાઇ-ફ્રિકવન્સી, આરએફ અથવા માઇક્રોવેવ પાવર સ્ત્રોતોનો ઉપયોગ કરીને પ્લાઝ્મા ઉત્પન્ન કરી શકાય છે. પોલિમરની રચના અને કામગીરી માટેની જરૂરિયાતોના આધારે પાવર સપ્લાયની પસંદગી નક્કી કરવામાં આવે છે.

(૪) ડિસ્ચાર્જ મોડની પસંદગી

પોલિમર જરૂરિયાતો માટે, પ્લાઝ્મા પોલિમરાઇઝેશન બે ડિસ્ચાર્જ મોડ્સ પસંદ કરી શકે છે: સતત ડિસ્ચાર્જ અથવા પલ્સ ડિસ્ચાર્જ.

(5) ડિસ્ચાર્જ પરિમાણોની પસંદગી

પ્લાઝ્મા પોલિમરાઇઝેશન કરતી વખતે, પ્લાઝ્મા પરિમાણો, પોલિમર ગુણધર્મો અને બંધારણની આવશ્યકતાઓમાંથી ડિસ્ચાર્જ પરિમાણો ધ્યાનમાં લેવાની જરૂર છે. પોલિમરાઇઝેશન દરમિયાન લાગુ શક્તિનું મૂલ્ય વેક્યુમ ચેમ્બરના વોલ્યુમ, ઇલેક્ટ્રોડ કદ, મોનોમર પ્રવાહ દર અને બંધારણ, પોલિમરાઇઝેશન દર અને પોલિમર માળખું અને કામગીરી દ્વારા નક્કી કરવામાં આવે છે. ઉદાહરણ તરીકે, જો પ્રતિક્રિયા ચેમ્બરનું વોલ્યુમ 1L હોય અને RF પ્લાઝ્મા પોલિમરાઇઝેશન અપનાવવામાં આવે, તો ડિસ્ચાર્જ શક્તિ 10~30W ની રેન્જમાં હશે. આવી પરિસ્થિતિઓમાં, ઉત્પન્ન થયેલ પ્લાઝ્મા વર્કપીસની સપાટી પર પાતળી ફિલ્મ બનાવવા માટે એકત્રિત થઈ શકે છે. પ્લાઝ્મા પોલિમરાઇઝેશન ફિલ્મનો વિકાસ દર પાવર સપ્લાય, મોનોમર પ્રકાર અને પ્રવાહ દર અને પ્રક્રિયાની પરિસ્થિતિઓ સાથે બદલાય છે. સામાન્ય રીતે, વૃદ્ધિ દર 100nm/મિનિટ~1um/મિનિટ છે.

(6) પ્લાઝ્મા પોલિમરાઇઝેશનમાં પરિમાણ માપન

પ્લાઝ્મા પોલિમરાઇઝેશનમાં માપવાના પ્લાઝ્મા પરિમાણો અને પ્રક્રિયા પરિમાણોમાં શામેલ છે: ડિસ્ચાર્જ વોલ્ટેજ, ડિસ્ચાર્જ કરંટ, ડિસ્ચાર્જ ફ્રીક્વન્સી, ઇલેક્ટ્રોન તાપમાન, ઘનતા, પ્રતિક્રિયા જૂથ પ્રકાર અને સાંદ્રતા, વગેરે.

——આ લેખ ગુઆંગડોંગ ઝેન્હુઆ ટેકનોલોજી દ્વારા પ્રકાશિત કરવામાં આવ્યો હતો, જેઓપ્ટિકલ કોટિંગ મશીનોના ઉત્પાદક.