આયન બીમ આસિસ્ટેડ ડિપોઝિશન ટેકનોલોજી એ આયન બીમ ઇન્જેક્શન અને વરાળ ડિપોઝિશન કોટિંગ ટેકનોલોજી છે જે આયન સપાટી સંયુક્ત પ્રક્રિયા તકનીક સાથે જોડાયેલી છે. આયન ઇન્જેક્ટેડ સામગ્રીના સપાટી ફેરફારની પ્રક્રિયામાં, પછી ભલે તે સેમિકન્ડક્ટર સામગ્રી હોય કે એન્જિનિયરિંગ સામગ્રી, ઘણીવાર એવું ઇચ્છવામાં આવે છે કે સુધારેલા સ્તરની જાડાઈ આયન ઇમ્પ્લાન્ટેશન કરતા ઘણી વધારે હોય, પરંતુ આયન ઇન્જેક્શન પ્રક્રિયાના ફાયદાઓને પણ જાળવી રાખવા માંગે છે, જેમ કે સુધારેલા સ્તર અને તીક્ષ્ણ ઇન્ટરફેસ વચ્ચેના સબસ્ટ્રેટને ઓરડાના તાપમાને વર્કપીસ પર પ્રક્રિયા કરી શકાય છે, વગેરે. તેથી, કોટિંગ ટેકનોલોજી સાથે આયન ઇમ્પ્લાન્ટેશનને જોડીને, ચોક્કસ ઊર્જાવાળા આયનોને કોટિંગ કરતી વખતે ફિલ્મ અને સબસ્ટ્રેટ વચ્ચેના ઇન્ટરફેસમાં સતત ઇન્જેક્ટ કરવામાં આવે છે, અને ઇન્ટરફેસિયલ અણુઓને કાસ્કેડ અથડામણની મદદથી મિશ્રિત કરવામાં આવે છે, જે ફિલ્મ અને સબસ્ટ્રેટ વચ્ચેના બંધન બળને સુધારવા માટે પ્રારંભિક ઇન્ટરફેસની નજીક એક અણુ મિશ્રણ સંક્રમણ ઝોન બનાવે છે. પછી, અણુ મિશ્રણ ઝોન પર, જરૂરી જાડાઈ અને ગુણધર્મો ધરાવતી ફિલ્મ આયન બીમની ભાગીદારી સાથે વધતી રહે છે.
આને આયન બીમ આસિસ્ટેડ ડિપોઝિશન (IBED) કહેવામાં આવે છે, જે આયન ઇમ્પ્લાન્ટેશન પ્રક્રિયાની લાક્ષણિકતાઓ જાળવી રાખે છે જ્યારે સબસ્ટ્રેટને પાતળા ફિલ્મ સામગ્રીથી કોટેડ કરવાની મંજૂરી આપે છે જે સબસ્ટ્રેટથી સંપૂર્ણપણે અલગ હોય છે.
આયન બીમ સહાયિત નિક્ષેપણના નીચેના ફાયદા છે.
(1) આયન બીમ સહાયિત નિક્ષેપન ગેસ ડિસ્ચાર્જ વિના પ્લાઝ્મા ઉત્પન્ન કરે છે, તેથી કોટિંગ <10-2 Pa ના દબાણે કરી શકાય છે, જેનાથી ગેસ દૂષણ ઓછું થાય છે.
(2) મૂળભૂત પ્રક્રિયા પરિમાણો (આયન ઊર્જા, આયન ઘનતા) વિદ્યુત છે. સામાન્ય રીતે ગેસ પ્રવાહ અને અન્ય બિન-વિદ્યુત પરિમાણોને નિયંત્રિત કરવાની જરૂર નથી, તમે ફિલ્મ સ્તરના વિકાસને સરળતાથી નિયંત્રિત કરી શકો છો, ફિલ્મની રચના અને રચનાને સમાયોજિત કરી શકો છો, પ્રક્રિયાની પુનરાવર્તિતતા સુનિશ્ચિત કરવા માટે સરળ.
(૩) વર્કપીસની સપાટીને એવી ફિલ્મથી કોટેડ કરી શકાય છે જે સબસ્ટ્રેટથી સંપૂર્ણપણે અલગ હોય અને નીચા તાપમાને (<200℃) બોમ્બાર્ડમેન્ટ આયનોની ઊર્જા દ્વારા જાડાઈ મર્યાદિત ન હોય. તે ડોપ્ડ ફંક્શનલ ફિલ્મો, કોલ્ડ મશીનવાળા ચોકસાઇ મોલ્ડ અને નીચા તાપમાને ટેમ્પર્ડ સ્ટ્રક્ચરલ સ્ટીલની સપાટીની સારવાર માટે યોગ્ય છે.
(૪) તે એક બિન-સંતુલન પ્રક્રિયા છે જે ઓરડાના તાપમાને નિયંત્રિત થાય છે. ઉચ્ચ-તાપમાન તબક્કાઓ, સબસ્ટેબલ તબક્કાઓ, આકારહીન મિશ્રધાતુઓ વગેરે જેવી નવી કાર્યાત્મક ફિલ્મો ઓરડાના તાપમાને મેળવી શકાય છે.
આયન બીમ સહાયિત નિક્ષેપણના ગેરફાયદા છે.
(1) આયન બીમમાં સીધા કિરણોત્સર્ગની લાક્ષણિકતાઓ હોવાથી, વર્કપીસના જટિલ સપાટીના આકાર સાથે વ્યવહાર કરવો મુશ્કેલ છે.
(2) આયન બીમ પ્રવાહના કદની મર્યાદાને કારણે મોટા પાયે અને મોટા વિસ્તારના વર્કપીસ સાથે વ્યવહાર કરવો મુશ્કેલ છે.
(3) આયન બીમ સહાયિત ડિપોઝિશન દર સામાન્ય રીતે 1nm/s ની આસપાસ હોય છે, જે પાતળા ફિલ્મ સ્તરોની તૈયારી માટે યોગ્ય છે, અને મોટી માત્રામાં ઉત્પાદનોના પ્લેટિંગ માટે યોગ્ય નથી.
- આ લેખ પ્રકાશિત થયો છેવેક્યુમ કોટિંગ મશીન ઉત્પાદકગુઆંગડોંગ ઝેન્હુઆ
પોસ્ટ સમય: નવેમ્બર-૧૬-૨૦૨૩