Cando comeza a deposición de átomos da membrana, o bombardeo iónico ten os seguintes efectos na interface membrana/substrato.
(1) Mestura física. Debido á inxección de ións de alta enerxía, á pulverización catódica dos átomos depositados e á inxección de retroceso dos átomos superficiais e ao fenómeno de colisión en cascada, provocará que a área próxima á superficie da interface membrana/base dos elementos do substrato e dos elementos da membrana se mesture sen difusión. Este efecto de mestura propiciará a formación da "pseudocapa de difusión" da interface membrana/base, é dicir, a capa de transición entre a interface membrana/base, de ata uns poucos micrómetros de espesor. De ata uns poucos micrómetros de espesor, na que mesmo poden aparecer novas fases. Isto é moi favorable para mellorar a forza de adhesión da interface membrana/base.
(2) Difusión mellorada. A alta concentración de defectos na rexión próxima á superficie e a alta temperatura aumentan a taxa de difusión. Dado que a superficie é un defecto puntual, os ións pequenos tenden a desviala, e o bombardeo de ións ten o efecto de mellorar aínda máis a desviación da superficie e a difusión mutua dos átomos depositados e do substrato.
(3) Modo de nucleación mellorado. As propiedades do átomo condensado na superficie do substrato están determinadas pola súa interacción superficial e as súas propiedades de migración na superficie. Se non hai unha forte interacción entre o átomo condensado e a superficie do substrato, o átomo difundirase na superficie ata que nuclee nunha posición de alta enerxía ou colisione con outros átomos difusores. Este modo de nucleación chámase nucleación non reactiva. Mesmo se o orixinal pertence ao caso do modo de nucleación non reactivo, o bombardeo iónico da superficie do substrato pode producir máis defectos, aumentando a densidade de nucleación, o que é máis propicio para a formación de difusión: modo de nucleación reactiva.
(4) Eliminación preferencial de átomos unidos de forma laxa. A pulverización catódica dos átomos da superficie está determinada polo estado de enlace local, e o bombardeo iónico da superficie ten máis probabilidades de expulsar por pulverización catódica os átomos unidos de forma laxa. Este efecto é máis pronunciado na formación de interfaces reactivas á difusión.
(5) Mellora da cobertura superficial e potenciación da derivación do recubrimento. Debido á alta presión do gas de traballo do recubrimento iónico, os átomos evaporados ou pulverizados son sometidos a colisións con átomos de gas para mellorar a dispersión, o que resulta en boas propiedades envolventes do recubrimento.
–Este artigo foi publicado porfabricante de máquinas de revestimento ao baleiroGuangdong Zhenhua
Data de publicación: 09-12-2023