Pròiseas polymerization dìreach plasma
Tha am pròiseas poilimearachadh plasma gu math sìmplidh airson uidheamachd poilimearachadh electrode a-staigh agus uidheamachd poilimearachadh electrode a-muigh, ach tha taghadh paramadair nas cudromaiche ann am poilimearachadh plasma, leis gu bheil buaidh nas motha aig paramadairean air structar agus coileanadh fhilmichean poilimeir rè poilimearachadh plasma.
Seo na ceumannan obrachaidh airson poilimearachadh plasma dìreach:
(1) Glanadh falamh
Bu chòir am falamh cùl-fhiosrachaidh de phoilimearachadh fo chumhachan falamh a phumpadh gu 1.3 × 10-1 Pa. Airson ath-bheachdan poilimearachaidh a dh’ fheumas riatanasan sònraichte airson smachd a chumail air susbaint ocsaidean no naitridean, tha an riatanas falamh cùl-fhiosrachaidh eadhon nas àirde.
(2) Monomair ath-bhualadh cosgais no gas measgaichte de ghas giùlain agus monomer
Tha an ìre falamh 13-130Pa. Airson poilimearachadh plasma a dh’ fheumas obair, feumar modh smachd sruthadh agus ìre sruthadh iomchaidh a thaghadh, san fharsaingeachd 10.100mL/min. Ann am plasma, bidh moileciuilean monomer air an ianachadh agus air an sgaradh le bhith a’ bomadh mìrean lùthmhor, agus mar thoradh air sin bidh mìrean gnìomhach leithid ianan agus ginean gnìomhach ann. Faodaidh na mìrean gnìomhach a thèid a ghnìomhachadh le plasma a dhol tro phoilimearachadh plasma aig eadar-aghaidh ìre gas agus ìre chruaidh. Is e am monomer stòr an ro-ruithear airson poilimearachadh plasma, agus feumaidh purrachd sònraichte a bhith aig a’ ghas ath-bhualadh cuir-a-steach agus am monomer.
(3) Taghadh solar cumhachd brosnachaidh
Faodar plasma a chruthachadh le bhith a’ cleachdadh stòran cumhachd DC, àrd-tricead, RF, no meanbh-thonn gus àrainneachd plasma a thoirt seachad airson poileimearachadh. Tha taghadh solar cumhachd air a dhearbhadh a rèir nan riatanasan airson structar agus coileanadh a’ phoileimeir.
(4) Taghadh modh sgaoilidh
Airson riatanasan polymer, faodaidh polymerization plasma dà dhòigh sgaoilidh a thaghadh: sgaoileadh leantainneach no sgaoileadh cuisle.
(5) Taghadh pharaimearan sgaoilidh
Nuair a bhios poilimearachadh plasma ga dhèanamh, feumar beachdachadh air paramadairean an sgaoilidh bho pharamadairean plasma, feartan poilimeir agus riatanasan structarail. Tha meud na cumhachd a thathar a’ cur an sàs rè poilimearachadh air a dhearbhadh le meud an t-seòmair falamh, meud an electrod, ìre is structar sruthadh monomer, ìre poilimearachaidh, agus structar is coileanadh poilimeir. Mar eisimpleir, ma tha meud an t-seòmair ath-bhualadh 1L agus ma thèid poilimearachadh plasma RF a chleachdadh, bidh an cumhachd sgaoilidh anns an raon 10 ~ 30W. Fo leithid de chumhachan, faodaidh am plasma a thèid a chruthachadh cruinneachadh gus film tana a chruthachadh air uachdar a’ phìos obrach. Bidh ìre fàis film poilimearachadh plasma ag atharrachadh a rèir solar cumhachd, seòrsa monomer agus ìre sruthadh, agus cumhaichean a’ phròiseis. San fharsaingeachd, tha an ìre fàis 100nm / min ~ 1um / min.
(6) Tomhas paramadair ann am poileimearachadh plasma
Am measg nam paramadairean plasma agus paramadairean a’ phròiseis a thèid a thomhas ann am poilimearachadh plasma tha: bholtaids sgaoilidh, sruth sgaoilidh, tricead sgaoilidh, teòthachd electron, dùmhlachd, seòrsa agus dùmhlachd buidhne ath-bhualadh, msaa.
——Chaidh an t-artaigil seo fhoillseachadh le Guangdong Zhenhua Technology, aneach-dèanamh innealan còmhdach optigeach.
Àm puist: 5 Cèitean 2023