’S e teicneòlas tasgadh le taic bho ghathan ian an teicneòlas stealladh ghathan ian agus còmhdach tasgadh smùid còmhla ri teicneòlas giullachd co-dhèanta uachdar ian. Ann am pròiseas atharrachadh uachdar stuthan stealladh ian, ge bith an e stuthan leth-chonnsachaidh no stuthan innleadaireachd a th’ annta, thathas gu tric ag iarraidh gum bi tiugh an t-sreath atharraichte mòran nas motha na tiugh an implantachaidh ian, ach tha sinn cuideachd airson buannachdan a’ phròiseis stealladh ian a chumail, leithid an t-sreath atharraichte eadar an eadar-aghaidh biorach agus an t-substrate, faodar am pìos-obrach a phròiseasadh aig teòthachd an t-seòmair, agus mar sin air adhart. Mar sin, le bhith a’ cothlamadh implantachadh ian le teicneòlas còmhdach, bidh ianan le lùth sònraichte air an stealladh a-steach don eadar-aghaidh eadar am film agus an t-substrate gu leantainneach fhad ‘s a tha iad a’ còmhdach, agus bidh na dadaman eadar-aghaidh air am measgachadh le cuideachadh bho bhuillean easgach, a’ cruthachadh sòn gluasaid measgachadh dadaman faisg air an eadar-aghaidh tùsail gus an fheachd ceangail eadar am film agus an t-substrate a leasachadh. An uairsin, air an t-sòn measgachadh dadaman, bidh am film leis an tiugh agus na feartan a tha a dhìth a’ sìor fhàs le com-pàirteachadh a’ ghathan ian.
Canar Tasgadh le Taic Beam Ion (IBED) ris an seo, a chumas feartan a’ phròiseis implantachadh ian agus aig an aon àm a’ leigeil leis an t-substrate a bhith còmhdaichte le stuth film tana a tha gu tur eadar-dhealaichte bhon t-substrate.
Tha na buannachdan a leanas aig tasgadh le taic gathan ian.
(1) Leis gu bheil tasgadh le taic bho ghathan ian a’ gineadh plasma gun sgaoileadh gas, faodar còmhdach a dhèanamh aig cuideam <10⁻² Pa, a’ lughdachadh truailleadh gas.
(2) Is e paramadairean bunaiteach a’ phròiseis (lùth ian, dùmhlachd ian) dealain. San fharsaingeachd, chan fheum thu smachd a chumail air sruthadh a’ ghasa agus paramadairean neo-dealain eile, faodaidh tu fàs sreath an fhilm a smachdachadh gu furasta, co-dhèanamh agus structar an fhilm atharrachadh, agus dèanamh cinnteach gu bheil am pròiseas ath-aithriseach.
(3) Faodar uachdar a’ phìos-obrach a chòmhdach le film a tha gu tur eadar-dhealaichte bhon t-substrate agus chan eil an tighead air a chuingealachadh le lùth nan ianan bomadh aig teòthachd ìosal (<200℃). Tha e freagarrach airson làimhseachadh uachdar fhilmichean gnìomh le dopadh, molltairean mionaideachd innealaichte fuar agus stàilinn structarail le teòthachd ìosal.
(4) ’S e pròiseas neo-chothromach a th’ ann a tha fo smachd aig teòthachd an t-seòmair. Gheibhear filmichean gnìomhach ùra leithid ìrean àrd-teòthachd, ìrean neo-sheasmhach, aloidhean neo-chruthach, msaa. aig teòthachd an t-seòmair.
Is iad na h-eas-bhuannachdan a tha an lùib tasgadh le taic gathan ian.
(1) Leis gu bheil feartan rèididheachd dìreach aig a’ ghath ian, tha e duilich dèiligeadh ri cumadh uachdar iom-fhillte a’ phìos-obrach.
(2) Tha e doirbh dèiligeadh ri pìosan-obrach mòra agus farsaing air sgàth cuingealachadh meud sruth beam ian.
(3) Mar as trice bidh an ìre tasgadh le taic bho ghathan ian timcheall air 1nm/s, a tha freagarrach airson sreathan film tana ullachadh, agus chan eil e freagarrach airson meudan mòra de thoraidhean a phlàtadh.
–Tha an t-artaigil seo air fhoillseachadh leneach-dèanamh inneal còmhdach falamhGuangdong Zhenhua
Àm puist: 16 dhen t-Samhain 2023