Próiseas polaiméirithe díreach plasma

Próiseas polaiméirithe díreach plasma

Tá an próiseas polaiméirithe plasma sách simplí i gcás trealaimh polaiméirithe leictreoid inmheánach agus trealaimh polaiméirithe leictreoid sheachtraigh araon, ach tá roghnú paraiméadar níos tábhachtaí i bpolaiméiriú plasma, toisc go mbíonn tionchar níos mó ag paraiméadair ar struchtúr agus ar fheidhmíocht scannán polaiméire le linn polaiméirithe plasma.

Seo a leanas na céimeanna oibríochta le haghaidh polaiméiriú plasma díreach:

(1) Folúsghlanadh

Ba chóir an folús cúlra le haghaidh polaiméirithe faoi choinníollacha folúis a phumpáil go 1.3 × 10-1 Pa. I gcás imoibrithe polaiméirithe a bhfuil ceanglais speisialta ag teastáil uathu chun cion ocsaigine nó nítrigine a rialú, tá an riachtanas folúis cúlra níos airde fós.

(2) Monaiméir imoibrithe luchta nó gás measctha de ghás iompróra agus monaiméir

Is é 13-130Pa an céim folúis. I gcás polaiméirithe plasma a bhfuil gá le hobair, ba cheart modh rialaithe sreafa agus ráta sreafa cuí a roghnú, go ginearálta 10.100mL/nóim. I plasma, déantar móilíní monaiméire a ianú agus a dhícheangal trí bhuamáil cáithníní fuinniúla, rud a eascraíonn i gcáithníní gníomhacha amhail iain agus géinte gníomhacha. Is féidir leis na cáithníní gníomhacha a ghníomhaíonn plasma dul faoi pholaiméiriú plasma ag an gcomhéadan idir an chéim gháis agus an chéim sholadaigh. Is é an monaiméir foinse réamhtheachtaí do pholaiméiriú plasma, agus ba cheart íonacht áirithe a bheith ag an ngás imoibrithe ionchuir agus ag an monaiméir.

(3) Roghnú soláthair cumhachta spreagtha

Is féidir plasma a ghiniúint trí úsáid a bhaint as foinsí cumhachta DC, ardmhinicíochta, RF, nó micreathonnta chun timpeallacht plasma a sholáthar le haghaidh polaiméirithe. Cinntear an soláthar cumhachta bunaithe ar na riachtanais maidir le struchtúr agus feidhmíocht an pholaiméir.

(4) Rogha modh urscaoilte

Maidir le riachtanais polaiméire, is féidir dhá mhodh urscaoilte a roghnú le haghaidh polaiméiriú plasma: urscaoileadh leanúnach nó urscaoileadh cuisle.

(5) Roghnú paraiméadair urscaoilte

Agus polaiméiriú plasma á dhéanamh, ní mór paraiméadair urscaoilte a chur san áireamh ó pharaiméadair plasma, airíonna polaiméire agus riachtanais struchtúir. Is é toirt an tseomra folúis, méid an leictreoid, ráta agus struchtúr sreafa monaiméire, ráta polaiméirithe, agus struchtúr agus feidhmíocht an pholaiméire a chinneann méid na cumhachta a chuirtear i bhfeidhm le linn polaiméirithe. Mar shampla, má tá toirt an tseomra imoibrithe 1L agus má ghlactar le polaiméiriú plasma RF, beidh an chumhacht urscaoilte sa raon 10~30W. Faoi na coinníollacha sin, is féidir leis an plasma a ghintear comhiomlánú chun scannán tanaí a fhoirmiú ar dhromchla an phíosa oibre. Athraíonn ráta fáis an scannáin polaiméirithe plasma ag brath ar an soláthar cumhachta, an cineál monaiméire agus an ráta sreafa, agus na coinníollacha próisis. Go ginearálta, is é 100nm/nóim~1um/nóim an ráta fáis.

(6) Tomhas paraiméadair i bpolaiméiriú plasma

Áirítear ar na paraiméadair plasma agus na paraiméadair phróisis atá le tomhas i bpolaiméiriú plasma: voltas urscaoilte, sruth urscaoilte, minicíocht urscaoilte, teocht leictreon, dlús, cineál agus tiúchan grúpa imoibrithe, etc.

——Foilsíodh an t-alt seo ag Guangdong Zhenhua Technology, amonaróir meaisíní sciath optúla.