Is teicneolaíocht sciath insteallta bhíoma ian agus sciath gaile í an teicneolaíocht taiscthe le cúnamh bhíoma ian atá in éineacht le teicneolaíocht próiseála ilchodach dromchla ian. I bpróiseas modhnú dromchla ábhar insteallta ian, bíodh sé ina ábhair leathsheoltóra nó ina ábhair innealtóireachta, is minic a bhíonn sé inmhianaithe go mbeadh tiús na sraithe modhnaithe i bhfad níos mó ná tiús an ionchlannáin ian, ach ba mhaith linn buntáistí an phróisis insteallta ian a choinneáil freisin, amhail an comhéadan géar idir an tsraith mhodhnaithe agus an tsubstráit, agus is féidir an píosa oibre a phróiseáil ag teocht an tseomra, agus mar sin de. Dá bhrí sin, trí ionchlannán ian agus teicneolaíocht sciath a chomhcheangal, déantar iain le fuinneamh áirithe a instealladh go leanúnach isteach sa chomhéadan idir an scannán agus an tsubstráit agus sciath á déanamh, agus measctar na hadaimh chomhéadain le cabhair ó imbhuailtí easghluaiseachta, rud a chruthaíonn crios trasdula meascáin adamh in aice leis an gcomhéadan tosaigh chun an fórsa nasctha idir an scannán agus an tsubstráit a fheabhsú. Ansin, ar an gcrios meascáin adamh, leanann an scannán leis an tiús agus na hairíonna riachtanacha ag fás le rannpháirtíocht an bhíoma ian.
Tugtar Taisceadh le Cúnamh Bhíoma Ian (IBED) air seo, a choinníonn tréithe an phróisis ionchlannaithe ian agus a ligeann don tsubstráit a bheith brataithe le hábhar scannáin tanaí atá go hiomlán difriúil ón tsubstráit.
Tá na buntáistí seo a leanas ag baint le taisceadh le cúnamh bhíoma ian.
(1) Ós rud é go ngineann taisceadh le cúnamh bhíoma ian plasma gan urscaoileadh gáis, is féidir sciath a dhéanamh ag brú <10-2 Pa, rud a laghdaíonn éilliú gáis.
(2) Is paraiméadair leictreacha iad na bunpharaiméadair phróisis (fuinneamh ian, dlús ian). Go ginearálta, ní gá sreabhadh an gháis agus paraiméadair neamhleictreacha eile a rialú, is féidir fás an tsraith scannáin a rialú go héasca, comhdhéanamh agus struchtúr an scannáin a choigeartú, rud a chinntíonn go héasca go n-athdhéantar an próiseas.
(3) Is féidir dromchla an phíosa oibre a chlúdach le scannán atá go hiomlán difriúil ón tsubstráit agus níl an tiús teoranta ag fuinneamh na n-ian buamála ag teocht íseal (<200℃). Tá sé oiriúnach le haghaidh cóireála dromchla scannán feidhmiúla dópáilte, múnlaí cruinne fuar-mheaisínithe agus cruach struchtúrach íseal-teocht.
(4) Is próiseas neamhchothromaíochta é atá á rialú ag teocht an tseomra. Is féidir scannáin fheidhmiúla nua amhail céimeanna ardteochta, céimeanna fo-chobhsaí, cóimhiotail neamhchruthacha, srl. a fháil ag teocht an tseomra.
Is iad na míbhuntáistí a bhaineann le taisceadh le cúnamh bhíoma ian.
(1) Ós rud é go bhfuil tréithe radaíochta díreacha ag an bhíoma ian, tá sé deacair déileáil le cruth dromchla casta an phíosa oibre.
(2) Tá sé deacair déileáil le píosaí oibre ar scála mór agus ar achar mór mar gheall ar theorainn mhéid an tsrutha bhíoma ian.
(3) Is gnách go mbíonn an ráta taiscthe le cúnamh bhíoma ian thart ar 1nm/s, rud atá oiriúnach chun sraitheanna scannán tanaí a ullmhú, agus níl sé oiriúnach chun cainníochtaí móra táirgí a phlátáil.
–Tá an t-alt seo eisithe agmonaróir meaisín sciath folúisGuangdong Zhenhua
Am an phoist: 16 Samhain 2023