Plasma direkte polymerisaasjeproses
It proses fan plasmapolymerisaasje is relatyf ienfâldich foar sawol ynterne elektrodepolymerisaasjeapparatuer as eksterne elektrodepolymerisaasjeapparatuer, mar parameterseleksje is wichtiger by plasmapolymerisaasje, om't parameters in gruttere ynfloed hawwe op 'e struktuer en prestaasjes fan polymeerfilms tidens plasmapolymerisaasje.
De operaasjestappen foar direkte plasmapolymerisaasje binne as folget:
(1) Stofsûgje
It eftergrûnfakuüm fan polymerisaasje ûnder fakuümomstannichheden moat nei 1,3 × 10-1 Pa pompt wurde. Foar polymerisaasjereaksjes dy't spesjale easken fereaskje foar it kontrolearjen fan soerstof- of stikstofynhâld, is de eftergrûnfakuümeaske noch heger.
(2) Ladingsreaksjemonomeer of mingd gas fan dragergas en monomeer
De fakuümgraad is 13-130 Pa. Foar plasmapolymerisaasje dy't wurk fereasket, moat in passende streamkontrôlemodus en streamsnelheid keazen wurde, oer it algemien 10.100 mL/min. Yn plasma wurde monomeermolekulen ionisearre en dissosiearre troch bombardemint fan enerzjike dieltsjes, wat resulteart yn aktive dieltsjes lykas ioanen en aktive genen. De aktive dieltsjes dy't troch plasma aktivearre wurde, kinne plasmapolymerisaasje ûndergean op it ynterface fan gasfaze en fêste faze. De monomeer is de boarne fan foarrinner foar plasmapolymerisaasje, en it ynfierreaksjegas en monomeer moatte in bepaalde suverens hawwe.
(3) Seleksje fan oanstjoeringskrêftfoarsjenning
Plasma kin generearre wurde mei help fan DC-, hege-frekwinsje-, RF- of mikrogolfkrêftboarnen om in plasma-omjouwing te leverjen foar polymerisaasje. De seleksje fan stroomfoarsjenning wurdt bepaald op basis fan 'e easken foar de struktuer en prestaasjes fan it polymeer.
(4) Seleksje fan ûntladingsmodus
Foar polymeereasken kin plasmapolymerisaasje twa ûntladingsmodi kieze: trochgeande ûntlading of pulsûntlading.
(5) Seleksje fan ûntladingsparameters
By it útfieren fan plasmapolymerisaasje moatte ûntladingsparameters wurde beskôge út plasmaparameters, polymeareigenskippen en struktuereasken. De grutte fan it tapaste fermogen tidens polymerisaasje wurdt bepaald troch it folume fan 'e fakuümkeamer, elektrodegrutte, monomeerstreamingssnelheid en struktuer, polymerisaasjesnelheid, en polymeerstruktuer en prestaasjes. Bygelyks, as it folume fan 'e reaksjekeamer 1L is en RF-plasmapolymerisaasje wurdt brûkt, sil it ûntladingsfermogen yn it berik fan 10~30W lizze. Under sokke omstannichheden kin it generearre plasma aggregearje om in tinne film te foarmjen op it oerflak fan it wurkstik. De groeisnelheid fan 'e plasmapolymerisaasjefilm ferskilt mei de stroomfoarsjenning, it monomeertype en de streamsnelheid, en de prosesomstannichheden. Yn 't algemien is de groeisnelheid 100nm/min~1um/min.
(6) Parametermjitting yn plasmapolymerisaasje
De plasmaparameters en prosesparameters dy't metten wurde moatte by plasmapolymerisaasje omfetsje: ûntladingsspanning, ûntladingsstroom, ûntladingsfrekwinsje, elektrontemperatuer, tichtens, reaksjegroeptype en konsintraasje, ensfh.
—— Dit artikel waard publisearre troch Guangdong Zhenhua Technology, infabrikant fan optyske coatingmasines.
Pleatsingstiid: maaie-05-2023