Tyhjiöplasmapuhdistuslaitteet omaksuvat integroidun rakenteen, jossa on RF-ionipuhdistusjärjestelmä, täysin automaattinen ohjaus, kätevä käyttö ja huolto.
RF-korkeataajuusgeneraattori voi tuottaa tiheää plasmaa, aktivoida, syövyttää ja tuhkata työkappaleen pinnan, poistaa tehokkaasti pölyn ja rasvan tuotteen pinnalta, vapauttaa pintajännityksen ja saada aikaan erilaisia muutoksia työkappaleen pintaan.
Sitä voidaan käyttää kumissa, lasissa, keramiikassa, metallissa ja muissa tuotteissa, ja sitä käytetään mikroelektroniikassa, LCD-näytöissä, LED-näytöissä, LCM-näytöissä, piirilevyissä, puolijohdepakkauksissa, lääkinnällisissä laitteissa, biotieteellisissä kokeissa ja muilla aloilla.